Silicio karbidu padengtas cilindrinis susceptorius

Semicorex Silicio karbidu padengtas cilindrinis susceptorius yra aukštos kokybės grafito gaminys, padengtas didelio grynumo SiC, pasižymintis išskirtiniu atsparumu karščiui ir korozijai. Jis specialiai sukurtas LPE naudojimui puslaidininkių gamybos pramonėje.

Siųsti užklausą

Prekės aprašymas

MūsųSilicio karbidu padengtas cilindrinis susceptoriusSemicorex yra idealus sprendimas auginti pavienius kristalus aukštoje temperatūroje ir korozinėje aplinkoje.

„Semicorex“ daugiausia dėmesio skiria aukštos kokybės ir ekonomiškai efektyvių produktų teikimuipadengtas silicio karbidustatinės susceptor, mes teikiame pirmenybę klientų pasitenkinimui ir siūlome ekonomiškus sprendimus. Tikimės tapti Jūsų ilgalaikiu partneriu, tiekiančiu aukštos kokybės produktus ir išskirtinį klientų aptarnavimą.

ParametraiPadengtas silicio karbiduStatinės imtuvas

Pagrindinės specifikacijosCVD-SIC danga
SiC-CVD savybės
Kristalinė struktūra	FCC β fazė
Tankis	g/cm³	3.21
Kietumas	Vickerso kietumas	2500
Grūdų dydis	μm	2~10
Cheminis grynumas	%	99.99995
Šilumos talpa	J kg-1 K-1	640
Sublimacijos temperatūra	℃	2700
Feleksualinė jėga	MPa (RT 4 taškai)	415
Youngo modulis	Gpa (4 pt lenkimas, 1300 ℃)	430
Šiluminis plėtimasis (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Šilumos laidumas	(W/mK)	300

SavybėsPadengtas silicio karbiduStatinės imtuvas

- Tiek grafito substratas, tiek silicio karbido sluoksnis turi gerą tankį ir gali atlikti gerą apsauginį vaidmenį aukštoje temperatūroje ir korozinėje darbo aplinkoje.

- Silicio karbidu padengtas susceptorius, naudojamas monokristalams auginti, turi labai didelį paviršiaus lygumą.

- Sumažinkite šiluminio plėtimosi koeficiento skirtumą tarp grafito pagrindo ir silicio karbido sluoksnio, efektyviai pagerinkite sukibimo stiprumą, kad išvengtumėte įtrūkimų ir delaminacijos.

- Tiek grafito pagrindas, tiek silicio karbido sluoksnis pasižymi dideliu šilumos laidumu ir puikiomis šilumos paskirstymo savybėmis.

- Aukšta lydymosi temperatūra, atsparumas oksidacijai aukštoje temperatūroje, atsparumas korozijai.