Silicio karbidu dengta grafito statinė

Semicorex silicio karbidu dengta grafito statinė yra puikus pasirinkimas puslaidininkių gamybos reikmėms, kurioms reikalingas didelis atsparumas karščiui ir korozijai. Dėl išskirtinio šilumos laidumo ir šilumos paskirstymo savybių jis idealiai tinka naudoti LPE procesuose ir kitose aukštos temperatūros aplinkose.

Siųsti užklausą

Prekės aprašymas

Kalbant apie puslaidininkių gamybą, Semicorex silicio karbidu padengta grafito statinė yra geriausias pasirinkimas dėl išskirtinio našumo ir patikimumo. Aukštos kokybės SiC danga ir puikus tankis bei šilumos laidumas užtikrina puikų šilumos paskirstymą ir apsaugą net sudėtingiausioje aukštos temperatūros ir korozinėje aplinkoje.

Mūsų silicio karbidu dengta grafito statinė užtikrina tolygų šiluminį profilį, garantuojantį geriausią laminarinio dujų srauto modelį. Jis neleidžia bet kokiam užteršimui ar priemaišoms pasklisti į plokštelę, todėl idealiai tinka naudoti švarioje patalpoje. „Semicorex“ yra didelio masto SiC padengto grafito susceptorių gamintojas ir tiekėjas Kinijoje, o mūsų produktai turi gerą kainos pranašumą. Mes tikimės tapti jūsų ilgalaikiu partneriu puslaidininkių pramonėje.

Silicio karbidu dengtos grafito statinės parametrai

Pagrindinės CVD-SIC dangos specifikacijos
SiC-CVD savybės
Kristalinė struktūra	FCC β fazė
Tankis	g/cm³	3.21
Kietumas	Vickerso kietumas	2500
Grūdų dydis	μm	2~10
Cheminis grynumas	%	99.99995
Šilumos talpa	J kg-1 K-1	640
Sublimacijos temperatūra	℃	2700
Feleksualinė jėga	MPa (RT 4 taškai)	415
Youngo modulis	Gpa (4 pt lenkimas, 1300 ℃)	430
Šiluminis plėtimasis (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Šilumos laidumas	(W/mK)	300

Silicio karbidu padengtos grafito statinės savybės

- Tiek grafito substratas, tiek silicio karbido sluoksnis turi gerą tankį ir gali atlikti gerą apsauginį vaidmenį aukštoje temperatūroje ir korozinėje darbo aplinkoje.

- Silicio karbidu padengtas susceptorius, naudojamas monokristalams auginti, turi labai didelį paviršiaus lygumą.

- Sumažinkite šiluminio plėtimosi koeficiento skirtumą tarp grafito pagrindo ir silicio karbido sluoksnio, efektyviai pagerinkite sukibimo stiprumą, kad išvengtumėte įtrūkimų ir delaminacijos.

- Tiek grafito pagrindas, tiek silicio karbido sluoksnis pasižymi dideliu šilumos laidumu ir puikiomis šilumos paskirstymo savybėmis.

- Aukšta lydymosi temperatūra, atsparumas oksidacijai aukštoje temperatūroje, atsparumas korozijai.