SiC dengtos plokštės laikikliai, skirti MOCVD

„Semicorex SiC Coated Plate Carriers“, skirtas MOCVD, yra aukštos kokybės laikiklis, skirtas naudoti puslaidininkių gamybos procese. Dėl didelio grynumo, puikaus atsparumo korozijai ir tolygaus terminio profilio jis yra puikus pasirinkimas ieškantiems laikiklio, kuris galėtų atlaikyti puslaidininkių gamybos proceso reikalavimus.

Siųsti užklausą

Prekės aprašymas

Mūsų SiC dengtos plokštės laikikliai, skirti MOCVD, pasižymi dideliu grynumu, todėl yra puikus pasirinkimas ieškantiems labai vienodo ir nuoseklių savybių laikiklio.
Mūsų SiC dengti plokščių laikikliai, skirti MOCVD, pagaminti su didelio grynumo silicio karbido danga ant grafito, todėl jis yra labai atsparus oksidacijai aukštoje temperatūroje iki 1600 °C. Jo gamyboje naudojamas CVD cheminio nusodinimo garais procesas užtikrina aukštą grynumą ir puikų atsparumą korozijai. Jis yra labai atsparus korozijai, tankus paviršius ir smulkios dalelės, todėl atsparus rūgštims, šarmams, druskoms ir organiniams reagentams. Jo atsparumas oksidacijai aukštoje temperatūroje užtikrina stabilumą aukštoje temperatūroje iki 1600°C.

SiC dengtų plokščių laikiklių parametrai MOCVD

Pagrindinės CVD-SIC dangos specifikacijos
SiC-CVD savybės
Kristalinė struktūra	FCC β fazė
Tankis	g/cm³	3.21
Kietumas	Vickerso kietumas	2500
Grūdų dydis	μm	2~10
Cheminis grynumas	%	99.99995
Šilumos talpa	J kg-1 K-1	640
Sublimacijos temperatūra	℃	2700
Feleksualinė jėga	MPa (RT 4 taškai)	415
Youngo modulis	Gpa (4 pt lenkimas, 1300 ℃)	430
Šiluminis plėtimasis (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Šilumos laidumas	(W/mK)	300

SiC padengto grafito susceptoriaus, skirto MOCVD, ypatybės

- Venkite nulupti ir pasirūpinkite, kad visas paviršius būtų padengtas
Atsparumas oksidacijai aukštoje temperatūroje: stabilus aukštoje temperatūroje iki 1600°C
Didelis grynumas: pagamintas CVD cheminiu garų nusodinimu aukštos temperatūros chloravimo sąlygomis.
Atsparumas korozijai: didelis kietumas, tankus paviršius ir smulkios dalelės.
Atsparumas korozijai: rūgštis, šarmai, druska ir organiniai reagentai.
- Pasiekite geriausią laminarinio dujų srauto modelį
- Šilumos profilio tolygumo garantija
- Užkirsti kelią bet kokiam užteršimui ar priemaišų sklaidai