SiC padengtas grafito susceptorius MOCVD

„Semicorex“ yra didelio masto silicio karbidu padengtų grafito susceptorių gamintojas ir tiekėjas Kinijoje. Mes orientuojamės į puslaidininkių pramonę, pvz., silicio karbido sluoksnius ir epitaksinius puslaidininkius. Mūsų SiC padengtas grafito susceptorius, skirtas MOCVD, turi gerą kainos pranašumą ir apima daugelį Europos ir Amerikos rinkų. Mes tikimės tapti jūsų ilgalaikiu partneriu.

Siųsti užklausą

Prekės aprašymas

Semicorex SiC padengtas grafito susceptorius, skirtas MOCVD, yra didelio grynumo silicio karbidu dengtas grafito laikiklis, naudojamas epiksiniam sluoksniui auginti ant plokštelės lusto. Tai yra centrinė MOCVD plokštė, krumpliaračio arba žiedo forma. SiC padengtas grafito susceptorius, skirtas MOCVD, turi didelį atsparumą karščiui ir korozijai, kuris pasižymi dideliu stabilumu ekstremalioje aplinkoje.
„Semicorex“ esame įsipareigoję savo klientams teikti aukštos kokybės produktus ir paslaugas. Naudojame tik geriausias medžiagas, o mūsų gaminiai yra sukurti taip, kad atitiktų aukščiausius kokybės ir veikimo standartus. Mūsų SiC padengtas grafito susceptorius, skirtas MOCVD, nėra išimtis. Susisiekite su mumis šiandien, kad sužinotumėte daugiau apie tai, kaip galime padėti patenkinti puslaidininkinių plokštelių apdorojimo poreikius.

SiC padengto grafito susceptoriaus parametrai MOCVD

Pagrindinės CVD-SIC dangos specifikacijos
SiC-CVD savybės
Kristalinė struktūra	FCC β fazė
Tankis	g/cm³	3.21
Kietumas	Vickerso kietumas	2500
Grūdų dydis	μm	2~10
Cheminis grynumas	%	99.99995
Šilumos talpa	J kg-1 K-1	640
Sublimacijos temperatūra	℃	2700
Feleksualinė jėga	MPa (RT 4 taškai)	415
Youngo modulis	Gpa (4 pt lenkimas, 1300 ℃)	430
Šiluminis plėtimasis (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Šilumos laidumas	(W/mK)	300

SiC padengto grafito susceptoriaus, skirto MOCVD, savybės

- Venkite nulupti ir pasirūpinkite, kad visas paviršius būtų padengtas
Atsparumas oksidacijai aukštoje temperatūroje: stabilus aukštoje temperatūroje iki 1600°C
Didelis grynumas: pagamintas CVD cheminiu garų nusodinimu aukštos temperatūros chloravimo sąlygomis.
Atsparumas korozijai: didelis kietumas, tankus paviršius ir smulkios dalelės.
Atsparumas korozijai: rūgštis, šarmai, druska ir organiniai reagentai.
- Pasiekite geriausią laminarinio dujų srauto modelį
- Šilumos profilio tolygumo garantija
- Užkirsti kelią bet kokiam užteršimui ar priemaišų sklaidai