MOCVD susceptorius epitaksiniam augimui

„Semicorex“ yra pirmaujanti MOCVD susceptorių epitaksiniam augimui tiekėja ir gamintoja. Mūsų gaminys plačiai naudojamas puslaidininkių pramonėje, ypač auginant epitaksinį sluoksnį ant plokštelės lusto. Mūsų susceptorius yra skirtas naudoti kaip centrinė plokštė MOCVD, su krumpliaračio arba žiedo formos konstrukcija. Produktas pasižymi dideliu atsparumu karščiui ir korozijai, todėl yra stabilus ekstremaliose aplinkose.

Siųsti užklausą

Prekės aprašymas

Vienas iš mūsų MOCVD susceptoriaus epitaksiniam augimui privalumų yra jo gebėjimas užtikrinti viso paviršiaus padengimą, išvengiant nulupimo. Produktas turi atsparumą oksidacijai aukštoje temperatūroje, kuris užtikrina stabilumą aukštoje temperatūroje iki 1600°C. Didelis mūsų gaminio grynumas pasiekiamas naudojant CVD cheminį nusodinimą garais aukštos temperatūros chlorinimo sąlygomis. Tankus paviršius su smulkiomis dalelėmis užtikrina, kad gaminys yra labai atsparus korozijai nuo rūgščių, šarmų, druskų ir organinių reagentų.
Mūsų MOCVD susceptorius epitaksiniam augimui yra sukurtas taip, kad būtų pasiektas geriausias laminarinio dujų srauto modelis, užtikrinantis šiluminio profilio tolygumą. Tai padeda išvengti bet kokio užteršimo ar priemaišų sklaidos ir užtikrina aukštos kokybės epitaksinį augimą ant plokštelės lusto.
Susisiekite su mumis šiandien ir sužinokite daugiau apie mūsų MOCVD susceptorių epitaksiniam augimui.

MOCVD susceptoriaus parametrai epitaksiniam augimui

Pagrindinės CVD-SIC dangos specifikacijos
SiC-CVD savybės
Kristalinė struktūra	FCC β fazė
Tankis	g/cm³	3.21
Kietumas	Vickerso kietumas	2500
Grūdų dydis	μm	2~10
Cheminis grynumas	%	99.99995
Šilumos talpa	J kg-1 K-1	640
Sublimacijos temperatūra	℃	2700
Feleksualinė jėga	MPa (RT 4 taškai)	415
Youngo modulis	Gpa (4 pt lenkimas, 1300 ℃)	430
Šiluminis plėtimasis (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Šilumos laidumas	(W/mK)	300

MOCVD susceptoriaus ypatybės, skirtos epitaksiniam augimui

- Venkite nulupti ir pasirūpinkite, kad visas paviršius būtų padengtas
Atsparumas oksidacijai aukštoje temperatūroje: stabilus aukštoje temperatūroje iki 1600°C
Didelis grynumas: pagamintas CVD cheminiu garų nusodinimu aukštos temperatūros chloravimo sąlygomis.
Atsparumas korozijai: didelis kietumas, tankus paviršius ir smulkios dalelės.
Atsparumas korozijai: rūgštis, šarmai, druska ir organiniai reagentai.
- Pasiekite geriausią laminarinio dujų srauto modelį
- Šilumos profilio tolygumo garantija
- Užkirsti kelią bet kokiam užteršimui ar priemaišų sklaidai