SiC dengtas MOCVD susceptorius

„Semicorex“ yra pirmaujanti SiC dengtų MOCVD susceptorių gamintoja ir tiekėja. Mūsų gaminys yra specialiai sukurtas puslaidininkių pramonei, siekiant auginti epitaksinį sluoksnį ant plokštelės lusto. Didelio grynumo silicio karbidu padengtas grafito laikiklis naudojamas kaip centrinė MOCVD plokštė su krumpliaračio arba žiedo formos konstrukcija. Mūsų susceptorius yra plačiai naudojamas MOCVD įrangoje, užtikrinantis aukštą atsparumą karščiui ir korozijai bei puikų stabilumą ekstremaliose aplinkose.

Siųsti užklausą

Prekės aprašymas

Viena iš svarbiausių mūsų SiC padengto MOCVD Susceptor savybių yra ta, kad jis užtikrina visų paviršių padengimą, išvengiant nulupimo. Produktas turi atsparumą oksidacijai aukštoje temperatūroje, kuris yra stabilus aukštoje temperatūroje iki 1600°C. Didelis grynumas pasiekiamas naudojant CVD cheminį nusodinimą garais aukštos temperatūros chlorinimo sąlygomis. Produktas turi tankų paviršių su smulkiomis dalelėmis, todėl yra labai atsparus rūgščių, šarmų, druskų ir organinių reagentų korozijai.
Mūsų SiC padengtas MOCVD susceptorius užtikrina geriausią laminarinį dujų srauto modelį, kuris garantuoja šiluminio profilio tolygumą. Tai padeda išvengti bet kokio užteršimo ar priemaišų sklaidos ir užtikrina aukštos kokybės epitaksinį augimą ant plokštelės lusto. Semicorex siūlo konkurencingą kainos pranašumą ir apima daugelį Europos ir Amerikos rinkų. Mūsų komanda yra pasiryžusi teikti puikų klientų aptarnavimą ir palaikymą. Esame įsipareigoję tapti jūsų ilgalaikiu partneriu, siūlančiu aukštos kokybės ir patikimus produktus, kurie padės jūsų verslui augti.

SiC padengto MOCVD susceptoriaus parametrai

Pagrindinės CVD-SIC dangos specifikacijos
SiC-CVD savybės
Kristalinė struktūra	FCC β fazė
Tankis	g/cm³	3.21
Kietumas	Vickerso kietumas	2500
Grūdų dydis	μm	2~10
Cheminis grynumas	%	99.99995
Šilumos talpa	J kg-1 K-1	640
Sublimacijos temperatūra	℃	2700
Feleksualinė jėga	MPa (RT 4 taškai)	415
Youngo modulis	Gpa (4 pt lenkimas, 1300 ℃)	430
Šiluminis plėtimasis (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Šilumos laidumas	(W/mK)	300

SiC padengto MOCVD susceptoriaus savybės

- Venkite nulupti ir pasirūpinkite, kad visas paviršius būtų padengtas
Atsparumas oksidacijai aukštoje temperatūroje: stabilus aukštoje temperatūroje iki 1600°C
Didelis grynumas: pagamintas CVD cheminiu garų nusodinimu aukštos temperatūros chloravimo sąlygomis.
Atsparumas korozijai: didelis kietumas, tankus paviršius ir smulkios dalelės.
Atsparumas korozijai: rūgštis, šarmai, druska ir organiniai reagentai.
- Pasiekite geriausią laminarinio dujų srauto modelį
- Šilumos profilio tolygumo garantija
- Užkirsti kelią bet kokiam užteršimui ar priemaišų sklaidai