SiC susceptorius MOCVD

Semicorex yra pirmaujanti SiC susceptor, skirto MOCVD, gamintoja ir tiekėja. Mūsų gaminys yra specialiai sukurtas tam, kad patenkintų puslaidininkių pramonės poreikius auginant epitaksinį sluoksnį ant plokštelės lusto. Gaminys naudojamas kaip centrinė MOCVD plokštė su krumpliaračio arba žiedo formos konstrukcija. Jis pasižymi dideliu atsparumu karščiui ir korozijai, todėl idealiai tinka naudoti ekstremaliose aplinkose.

Siųsti užklausą

Prekės aprašymas

Mūsų SiC Susceptor for MOCVD yra aukščiausios kokybės produktas, turintis keletą pagrindinių savybių. Užtikrina visų paviršių dengimą, išvengiant nulupimo ir atsparumo oksidacijai aukštoje temperatūroje, užtikrinančio stabilumą net esant aukštai temperatūrai iki 1600°C. Produktas pagamintas labai grynai naudojant CVD cheminį nusodinimą garais aukštoje temperatūroje chloruojant. Jis turi tankų paviršių su smulkiomis dalelėmis, todėl yra labai atsparus rūgščių, šarmų, druskų ir organinių reagentų korozijai.
Mūsų SiC Susceptor for MOCVD sukurtas taip, kad garantuotų geriausią laminarinio dujų srauto modelį, užtikrinant šiluminio profilio tolygumą. Jis apsaugo nuo bet kokio užteršimo ar priemaišų sklaidos ir užtikrina aukštos kokybės epitaksinį augimą ant plokštelės lusto.

SiC susceptoriaus parametrai MOCVD

Pagrindinės CVD-SIC dangos specifikacijos
SiC-CVD savybės
Kristalinė struktūra	FCC β fazė
Tankis	g/cm³	3.21
Kietumas	Vickerso kietumas	2500
Grūdų dydis	μm	2~10
Cheminis grynumas	%	99.99995
Šilumos talpa	J kg-1 K-1	640
Sublimacijos temperatūra	℃	2700
Feleksualinė jėga	MPa (RT 4 taškai)	415
Youngo modulis	Gpa (4 pt lenkimas, 1300 ℃)	430
Šiluminis plėtimasis (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Šilumos laidumas	(W/mK)	300

SiC Susceptor, skirto MOCVD, savybės

- Venkite nulupti ir pasirūpinkite, kad visas paviršius būtų padengtas
Atsparumas oksidacijai aukštoje temperatūroje: stabilus aukštoje temperatūroje iki 1600°C
Didelis grynumas: pagamintas CVD cheminiu garų nusodinimu aukštos temperatūros chloravimo sąlygomis.
Atsparumas korozijai: didelis kietumas, tankus paviršius ir smulkios dalelės.
Atsparumas korozijai: rūgštis, šarmai, druska ir organiniai reagentai.
- Pasiekite geriausią laminarinio dujų srauto modelį
- Šilumos profilio tolygumo garantija
- Užkirsti kelią bet kokiam užteršimui ar priemaišų sklaidai