Silicio epitaksiniai susceptoriai

Galite būti tikri, kad įsigysite Silicon Epitaxy Susceptors iš mūsų gamyklos. Semicorex Silicon Epitaxy Susceptor yra aukštos kokybės, didelio grynumo produktas, naudojamas puslaidininkių pramonėje, skirtas epitaksiniam plokštelės lusto augimui. Mūsų gaminys turi puikią dengimo technologiją, kuri užtikrina, kad danga būtų ant visų paviršių ir neleidžia nusilupti. Produktas yra stabilus aukštoje temperatūroje iki 1600°C, todėl tinkamas naudoti ekstremaliose aplinkose.

Siųsti užklausą

Prekės aprašymas

Mūsų silicio epitaksiniai susceptoriai yra pagaminti CVD cheminiu garų nusodinimu aukštos temperatūros chlorinimo sąlygomis, užtikrinant aukštą grynumą. Produkto paviršius yra tankus, su smulkiomis dalelėmis ir dideliu kietumu, todėl jis yra atsparus korozijai rūgštims, šarmams, druskoms ir organiniams reagentams.
Mūsų gaminys sukurtas taip, kad būtų pasiektas geriausias laminarinio dujų srauto modelis, garantuojantis terminio profilio tolygumą. Mūsų silicio epitaksiniai susceptoriai apsaugo nuo užteršimo ar priemaišų difuzijos epitaksinio augimo proceso metu, užtikrindami aukštos kokybės rezultatus.
„Semicorex“ daugiausia dėmesio skiria aukštos kokybės, ekonomiškai efektyvių produktų tiekimui savo klientams. Mūsų silicio epitaksiniai susceptoriai turi kainos pranašumą ir yra eksportuojami į daugelį Europos ir Amerikos rinkų. Siekiame būti Jūsų ilgalaikiu partneriu, tiekiančiu pastovios kokybės produktus ir išskirtinį klientų aptarnavimą.

Silicio epitaksinių susceptorių parametrai

Pagrindinės CVD-SIC dangos specifikacijos
SiC-CVD savybės
Kristalinė struktūra	FCC β fazė
Tankis	g/cm³	3.21
Kietumas	Vickerso kietumas	2500
Grūdų dydis	μm	2~10
Cheminis grynumas	%	99.99995
Šilumos talpa	J kg-1 K-1	640
Sublimacijos temperatūra	℃	2700
Feleksualinė jėga	MPa (RT 4 taškai)	415
Youngo modulis	Gpa (4 pt lenkimas, 1300 ℃)	430
Šiluminis plėtimasis (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Šilumos laidumas	(W/mK)	300

Silicio epitaksinių susceptorių parametrai

- Venkite nulupti ir pasirūpinkite, kad visas paviršius būtų padengtas
Atsparumas oksidacijai aukštoje temperatūroje: stabilus aukštoje temperatūroje iki 1600°C
Didelis grynumas: pagamintas CVD cheminiu garų nusodinimu aukštos temperatūros chloravimo sąlygomis.
Atsparumas korozijai: didelis kietumas, tankus paviršius ir smulkios dalelės.
Atsparumas korozijai: rūgštis, šarmai, druska ir organiniai reagentai.
- Pasiekite geriausią laminarinio dujų srauto modelį
- Šilumos profilio tolygumo garantija
- Užkirsti kelią bet kokiam užteršimui ar priemaišų sklaidai