SiC padengtas grafito statinės susceptorius

Jei ieškote didelio našumo grafito susceptoriaus, skirto naudoti puslaidininkių gamyboje, Semicorex SiC padengtas grafito statinės susceptorius yra idealus pasirinkimas. Dėl išskirtinio šilumos laidumo ir šilumos paskirstymo savybių jis yra puikus pasirinkimas patikimam ir pastoviam veikimui aukštoje temperatūroje ir korozinėje aplinkoje.

Siųsti užklausą

Prekės aprašymas

Semicorex SiC padengtas grafito statinės susceptorius yra puikus pasirinkimas puslaidininkių gamybos programoms, kurioms reikalingas išskirtinis šilumos paskirstymas ir šilumos laidumas. Jo itin gryna SiC danga ir puikus tankis užtikrina puikias apsaugos ir šilumos paskirstymo savybes, užtikrinančias patikimą ir pastovų veikimą net ir sudėtingiausioje aplinkoje.

Mūsų SiC padengtas grafito statinės susceptorius sukurtas taip, kad būtų pasiektas geriausias laminarinio dujų srauto modelis, užtikrinantis šiluminio profilio tolygumą. Tai padeda išvengti bet kokio užteršimo ar priemaišų sklaidos ir užtikrina aukštos kokybės epitaksinį augimą ant plokštelės lusto.

Susisiekite su mumis šiandien ir sužinokite daugiau apie mūsų SiC dengtą grafito statinės susceptorių.

SiC padengto grafito statinės susceptoriaus parametrai

Pagrindinės CVD-SIC dangos specifikacijos
SiC-CVD savybės
Kristalinė struktūra	FCC β fazė
Tankis	g/cm³	3.21
Kietumas	Vickerso kietumas	2500
Grūdų dydis	μm	2~10
Cheminis grynumas	%	99.99995
Šilumos talpa	J kg-1 K-1	640
Sublimacijos temperatūra	℃	2700
Feleksualinė jėga	MPa (RT 4 taškai)	415
Youngo modulis	Gpa (4 pt lenkimas, 1300 ℃)	430
Šiluminis plėtimasis (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Šilumos laidumas	(W/mK)	300

SiC padengto grafito statinės susceptoriaus ypatybės

- Tiek grafito substratas, tiek silicio karbido sluoksnis turi gerą tankį ir gali atlikti gerą apsauginį vaidmenį aukštoje temperatūroje ir korozinėje darbo aplinkoje.

- Silicio karbidu padengtas susceptorius, naudojamas monokristalams auginti, turi labai didelį paviršiaus lygumą.

- Sumažinkite šiluminio plėtimosi koeficiento skirtumą tarp grafito pagrindo ir silicio karbido sluoksnio, efektyviai pagerinkite sukibimo stiprumą, kad išvengtumėte įtrūkimų ir delaminacijos.

- Tiek grafito pagrindas, tiek silicio karbido sluoksnis pasižymi dideliu šilumos laidumu ir puikiomis šilumos paskirstymo savybėmis.

- Aukšta lydymosi temperatūra, atsparumas oksidacijai aukštoje temperatūroje, atsparumas korozijai.