SiC dengtas statinės susceptorius

Dėl aukštos lydymosi temperatūros, atsparumo oksidacijai ir atsparumo korozijai Semicorex SiC padengtas cilindrinis susceptorius yra puikus pasirinkimas naudoti vienkristalų auginimo programoms. Jo silicio karbido danga užtikrina išskirtines plokštumas ir šilumos paskirstymo savybes, užtikrinant patikimą ir pastovų veikimą net ir sudėtingiausioje aukštos temperatūros aplinkoje.

Siųsti užklausą

Prekės aprašymas

„Semicorex SiC“ padengtas statinės susceptorius yra aukščiausios kokybės grafito produktas, padengtas didelio grynumo SiC, sukurtas specialiai LPE procesams ir kitoms puslaidininkių gamybos reikmėms. Išskirtinis tankis ir šilumos laidumas užtikrina puikų šilumos paskirstymą ir apsaugą aukštoje temperatūroje ir korozinėje aplinkoje.
„Semicorex“ daugiausia dėmesio skiria aukštos kokybės, ekonomiškai efektyvių SiC dengtų statinės susceptorių teikimui, teikiame pirmenybę klientų pasitenkinimui ir siūlome ekonomiškus sprendimus. Tikimės tapti jūsų ilgalaikiu partneriu, tiekiančiu aukštos kokybės produktus ir išskirtinį klientų aptarnavimą.

SiC padengto statinės susceptoriaus parametrai

Pagrindinės CVD-SIC dangos specifikacijos
SiC-CVD savybės
Kristalinė struktūra	FCC β fazė
Tankis	g/cm³	3.21
Kietumas	Vickerso kietumas	2500
Grūdų dydis	μm	2~10
Cheminis grynumas	%	99.99995
Šilumos talpa	J kg-1 K-1	640
Sublimacijos temperatūra	℃	2700
Feleksualinė jėga	MPa (RT 4 taškai)	415
Youngo modulis	Gpa (4 pt lenkimas, 1300 ℃)	430
Šiluminis plėtimasis (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Šilumos laidumas	(W/mK)	300

SiC padengto statinės susceptoriaus ypatybės

- Tiek grafito substratas, tiek silicio karbido sluoksnis turi gerą tankį ir gali atlikti gerą apsauginį vaidmenį aukštoje temperatūroje ir korozinėje darbo aplinkoje.

- Silicio karbidu padengtas susceptorius, naudojamas monokristalams auginti, turi labai didelį paviršiaus lygumą.

- Sumažinkite šiluminio plėtimosi koeficiento skirtumą tarp grafito pagrindo ir silicio karbido sluoksnio, efektyviai pagerinkite sukibimo stiprumą, kad išvengtumėte įtrūkimų ir delaminacijos.

- Tiek grafito pagrindas, tiek silicio karbido sluoksnis pasižymi dideliu šilumos laidumu ir puikiomis šilumos paskirstymo savybėmis.

- Aukšta lydymosi temperatūra, atsparumas oksidacijai aukštoje temperatūroje, atsparumas korozijai.