„Semicorex SiC“ dengtas vamzdinis susceptorius, skirtas LPE epitaksiniam augimui, yra didelio našumo produktas, sukurtas užtikrinti pastovų ir patikimą veikimą ilgą laiką. Dėl tolygaus šiluminio profilio, laminarinio dujų srauto modelio ir užteršimo prevencijos jis yra idealus pasirinkimas norint auginti aukštos kokybės epitaksinius sluoksnius ant plokštelių lustų. Dėl pritaikymo ir ekonomiškumo jis yra labai konkurencingas produktas rinkoje.
Mūsų SiC padengtas cilindrinis susceptorius LPE epitaksiniam augimui yra aukštos kokybės ir patikimas produktas, užtikrinantis puikų kainos ir kokybės santykį. Dėl atsparumo oksidacijai aukštoje temperatūroje, tolygaus terminio profilio ir užteršimo prevencijos jis yra idealus pasirinkimas aukštos kokybės epitaksiniams sluoksniams ant plokštelių drožlių auginti. Dėl mažų priežiūros poreikių ir pritaikomumo jis yra labai konkurencingas produktas rinkoje.
Susisiekite su mumis šiandien ir sužinokite daugiau apie mūsų SiC dengtą cilindrinį susceptorių LPE epitaksiniam augimui.
SiC padengto statinės susceptoriaus parametrai LPE epitaksiniam augimui
Pagrindinės CVD-SIC dangos specifikacijos |
||
SiC-CVD savybės |
||
Kristalinė struktūra |
FCC β fazė |
|
Tankis |
g/cm³ |
3.21 |
Kietumas |
Vickerso kietumas |
2500 |
Grūdų dydis |
μm |
2~10 |
Cheminis grynumas |
% |
99.99995 |
Šilumos talpa |
J kg-1 K-1 |
640 |
Sublimacijos temperatūra |
℃ |
2700 |
Feleksualinė jėga |
MPa (RT 4 taškai) |
415 |
Youngo modulis |
Gpa (4 pt lenkimas, 1300 ℃) |
430 |
Šiluminis plėtimasis (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Šilumos laidumas |
(W/mK) |
300 |
SiC padengto cilindrinio susceptoriaus savybės LPE epitaksiniam augimui
- Tiek grafito substratas, tiek silicio karbido sluoksnis turi gerą tankį ir gali atlikti gerą apsauginį vaidmenį aukštoje temperatūroje ir korozinėje darbo aplinkoje.
- Silicio karbidu padengtas susceptorius, naudojamas monokristalams auginti, turi labai didelį paviršiaus lygumą.
- Sumažinkite šiluminio plėtimosi koeficiento skirtumą tarp grafito pagrindo ir silicio karbido sluoksnio, efektyviai pagerinkite sukibimo stiprumą, kad išvengtumėte įtrūkimų ir delaminacijos.
- Tiek grafito pagrindas, tiek silicio karbido sluoksnis pasižymi dideliu šilumos laidumu ir puikiomis šilumos paskirstymo savybėmis.
- Aukšta lydymosi temperatūra, atsparumas oksidacijai aukštoje temperatūroje, atsparumas korozijai.