Statinės susceptorius su SiC danga puslaidininkyje

Jei ieškote aukštos kokybės grafito susceptoriaus, padengto didelio grynumo SiC, Semicorex Barrel Susceptor su SiC danga puslaidininkyje yra puikus pasirinkimas. Dėl išskirtinio šilumos laidumo ir šilumos paskirstymo savybių jis idealiai tinka naudoti puslaidininkių gamyboje.

Siųsti užklausą

Prekės aprašymas

„Semicorex Barrel Susceptor“ su SiC danga puslaidininkyje yra aukščiausios kokybės grafito gaminys, padengtas didelio grynumo SiC, todėl jis yra idealus pasirinkimas naudoti aukštoje temperatūroje ir korozinėje aplinkoje. Puikus tankis ir šilumos laidumas užtikrina išskirtinį šilumos paskirstymą ir apsaugą puslaidininkių gamyboje.
„Semicorex“ daugiausia dėmesio skiria aukštos kokybės, ekonomiškai efektyvių produktų tiekimui savo klientams. Mūsų statinės susceptorius su SiC danga puslaidininkyje turi kainos pranašumą ir yra eksportuojamas į daugelį Europos ir Amerikos rinkų. Siekiame būti Jūsų ilgalaikiu partneriu, tiekiančiu pastovios kokybės produktus ir išskirtinį klientų aptarnavimą.

Statinės susceptoriaus su SiC danga puslaidininkyje parametrai

Pagrindinės CVD-SIC dangos specifikacijos
SiC-CVD savybės
Kristalinė struktūra	FCC β fazė
Tankis	g/cm³	3.21
Kietumas	Vickerso kietumas	2500
Grūdų dydis	μm	2~10
Cheminis grynumas	%	99.99995
Šilumos talpa	J kg-1 K-1	640
Sublimacijos temperatūra	℃	2700
Feleksualinė jėga	MPa (RT 4 taškai)	415
Youngo modulis	Gpa (4 pt lenkimas, 1300 ℃)	430
Šiluminis plėtimasis (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Šilumos laidumas	(W/mK)	300

Statinės susceptoriaus su SiC danga puslaidininkyje savybės

- Tiek grafito substratas, tiek silicio karbido sluoksnis turi gerą tankį ir gali atlikti gerą apsauginį vaidmenį aukštoje temperatūroje ir korozinėje darbo aplinkoje.

- Silicio karbidu padengtas susceptorius, naudojamas monokristalams auginti, turi labai didelį paviršiaus lygumą.

- Sumažinkite šiluminio plėtimosi koeficiento skirtumą tarp grafito pagrindo ir silicio karbido sluoksnio, efektyviai pagerinkite sukibimo stiprumą, kad išvengtumėte įtrūkimų ir delaminacijos.

- Tiek grafito pagrindas, tiek silicio karbido sluoksnis pasižymi dideliu šilumos laidumu ir puikiomis šilumos paskirstymo savybėmis.

- Aukšta lydymosi temperatūra, atsparumas oksidacijai aukštoje temperatūroje, atsparumas korozijai.