Aukštos temperatūros SiC dengtas statinės susceptorius

Kalbant apie puslaidininkių gamybą, Semicorex aukštos temperatūros SiC padengtas cilindrinis susceptorius yra geriausias pasirinkimas, užtikrinantis puikų našumą ir patikimumą. Dėl aukštos kokybės SiC dangos ir išskirtinio šilumos laidumo jis idealiai tinka naudoti net ir sudėtingiausioje aukštos temperatūros ir korozinėje aplinkoje.

Siųsti užklausą

Prekės aprašymas

„Semicorex“ aukštos temperatūros SiC dengtas statinės susceptorius yra puikus pasirinkimas vieno kristalo auginimui ir kitoms puslaidininkių gamybos programoms, kurioms reikalingas didelis atsparumas karščiui ir korozijai. Jo silicio karbido danga užtikrina puikią apsaugą ir šilumos paskirstymo savybes, užtikrindama patikimą ir pastovų veikimą net ir sudėtingiausioje aplinkoje.

„Semicorex“ daugiausia dėmesio skiriame aukštos kokybės, ekonomiškai efektyvių aukštos temperatūros SiC dengtų statinės susceptorių teikimui, teikiame pirmenybę klientų pasitenkinimui ir teikiame ekonomiškus sprendimus. Tikimės tapti Jūsų ilgalaikiu partneriu, tiekiančiu aukštos kokybės produktus ir išskirtinį klientų aptarnavimą.

Aukštos temperatūros SiC dengto statinės susceptoriaus parametrai

Pagrindinės CVD-SIC dangos specifikacijos
SiC-CVD savybės
Kristalinė struktūra	FCC β fazė
Tankis	g/cm³	3.21
Kietumas	Vickerso kietumas	2500
Grūdų dydis	μm	2~10
Cheminis grynumas	%	99.99995
Šilumos talpa	J kg-1 K-1	640
Sublimacijos temperatūra	℃	2700
Feleksualinė jėga	MPa (RT 4 taškai)	415
Youngo modulis	Gpa (4 pt lenkimas, 1300 ℃)	430
Šiluminis plėtimasis (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Šilumos laidumas	(W/mK)	300

Aukštos temperatūros SiC dengto statinės susceptoriaus ypatybės

- Tiek grafito substratas, tiek silicio karbido sluoksnis turi gerą tankį ir gali atlikti gerą apsauginį vaidmenį aukštoje temperatūroje ir korozinėje darbo aplinkoje.

- Silicio karbidu padengtas susceptorius, naudojamas monokristalams auginti, turi labai didelį paviršiaus lygumą.

- Sumažinkite šiluminio plėtimosi koeficiento skirtumą tarp grafito pagrindo ir silicio karbido sluoksnio, efektyviai pagerinkite sukibimo stiprumą, kad išvengtumėte įtrūkimų ir delaminacijos.

- Tiek grafito pagrindas, tiek silicio karbido sluoksnis pasižymi dideliu šilumos laidumu ir puikiomis šilumos paskirstymo savybėmis.

- Aukšta lydymosi temperatūra, atsparumas oksidacijai aukštoje temperatūroje, atsparumas korozijai.