Patvarus SiC dengtas cilindrinis susceptorius

Dėl puikaus tankio ir šilumos laidumo Semicorex Durable SiC padengtas cilindrinis susceptorius yra idealus pasirinkimas naudoti epitaksiniuose procesuose ir kitose puslaidininkių gamybos srityse. Jo didelio grynumo SiC danga užtikrina puikią apsaugą ir šilumos paskirstymo savybes, todėl tai yra geriausias pasirinkimas siekiant patikimų ir nuoseklių rezultatų.

Siųsti užklausą

Prekės aprašymas

Jei jums reikia aukštos kokybės grafito susceptoriaus, turinčio puikų atsparumą karščiui ir korozijai, ieškokite daugiau nei Semicorex Durable SiC padengto cilindrinio susceptoriaus. Jo silicio karbido danga užtikrina išskirtinį šilumos laidumą ir šilumos paskirstymą, užtikrindama patikimą ir pastovų veikimą net ir sudėtingiausioje aukštos temperatūros aplinkoje.
Mūsų patvarus SiC padengtas statinės susceptorius sukurtas taip, kad būtų pasiektas geriausias laminarinio dujų srauto modelis, užtikrinantis šiluminio profilio tolygumą. Tai padeda išvengti bet kokio užteršimo ar priemaišų sklaidos ir užtikrina aukštos kokybės epitaksinį augimą ant plokštelės lusto.
Susisiekite su mumis šiandien ir sužinokite daugiau apie mūsų patvarų SiC dengtą cilindrinį susceptorių.

Patvaraus SiC dengto statinės susceptoriaus parametrai

Pagrindinės CVD-SIC dangos specifikacijos
SiC-CVD savybės
Kristalinė struktūra	FCC β fazė
Tankis	g/cm³	3.21
Kietumas	Vickerso kietumas	2500
Grūdų dydis	μm	2~10
Cheminis grynumas	%	99.99995
Šilumos talpa	J kg-1 K-1	640
Sublimacijos temperatūra	℃	2700
Feleksualinė jėga	MPa (RT 4 taškai)	415
Youngo modulis	Gpa (4 pt lenkimas, 1300 ℃)	430
Šiluminis plėtimasis (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Šilumos laidumas	(W/mK)	300

Patvaraus SiC dengto statinės susceptoriaus savybės

- Tiek grafito substratas, tiek silicio karbido sluoksnis turi gerą tankį ir gali atlikti gerą apsauginį vaidmenį aukštoje temperatūroje ir korozinėje darbo aplinkoje.

- Silicio karbidu padengtas susceptorius, naudojamas monokristalams auginti, turi labai didelį paviršiaus lygumą.

- Sumažinkite šiluminio plėtimosi koeficiento skirtumą tarp grafito pagrindo ir silicio karbido sluoksnio, efektyviai pagerinkite sukibimo stiprumą, kad išvengtumėte įtrūkimų ir delaminacijos.

- Tiek grafito pagrindas, tiek silicio karbido sluoksnis pasižymi dideliu šilumos laidumu ir puikiomis šilumos paskirstymo savybėmis.

- Aukšta lydymosi temperatūra, atsparumas oksidacijai aukštoje temperatūroje, atsparumas korozijai.