Induktyviai šildoma barrel Epi sistema

Jei jums reikia grafito susceptoriaus su išskirtiniu šilumos laidumu ir šilumos paskirstymo savybėmis, ieškokite Semicorex induktyviai šildomos statinės Epi sistemos. Jo didelio grynumo SiC danga užtikrina puikią apsaugą aukštoje temperatūroje ir korozinėje aplinkoje, todėl tai yra idealus pasirinkimas puslaidininkių gamyboje.

Siųsti užklausą

Prekės aprašymas

„Semicorex“ induktyviai šildoma cilindrinė Epi sistema yra puikus pasirinkimas puslaidininkių gamybos reikmėms, kurioms reikalingas išskirtinis šilumos paskirstymas ir šilumos laidumas. Jo itin gryna SiC danga ir puikus tankis užtikrina puikias apsaugos ir šilumos paskirstymo savybes, užtikrinančias patikimą ir pastovų veikimą net ir sudėtingiausioje aplinkoje.
„Semicorex“ daugiausia dėmesio skiria aukštos kokybės, ekonomiškai efektyvių produktų tiekimui savo klientams. Mūsų indukciniu būdu šildoma barrel Epi sistema turi kainos pranašumą ir yra eksportuojama į daugelį Europos ir Amerikos rinkų. Siekiame būti Jūsų ilgalaikiu partneriu, tiekiančiu pastovios kokybės produktus ir išskirtinį klientų aptarnavimą.

Induktyviai šildomos barrel Epi sistemos parametrai

Pagrindinės CVD-SIC dangos specifikacijos
SiC-CVD savybės
Kristalinė struktūra	FCC β fazė
Tankis	g/cm³	3.21
Kietumas	Vickerso kietumas	2500
Grūdų dydis	μm	2~10
Cheminis grynumas	%	99.99995
Šilumos talpa	J kg-1 K-1	640
Sublimacijos temperatūra	℃	2700
Feleksualinė jėga	MPa (RT 4 taškai)	415
Youngo modulis	Gpa (4 pt lenkimas, 1300 ℃)	430
Šiluminis plėtimasis (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Šilumos laidumas	(W/mK)	300

Induktyviai šildomos barrel Epi sistemos savybės

- Tiek grafito substratas, tiek silicio karbido sluoksnis turi gerą tankį ir gali atlikti gerą apsauginį vaidmenį aukštoje temperatūroje ir korozinėje darbo aplinkoje.

- Silicio karbidu padengtas susceptorius, naudojamas monokristalams auginti, turi labai didelį paviršiaus lygumą.

- Sumažinkite šiluminio plėtimosi koeficiento skirtumą tarp grafito pagrindo ir silicio karbido sluoksnio, efektyviai pagerinkite sukibimo stiprumą, kad išvengtumėte įtrūkimų ir delaminacijos.

- Tiek grafito pagrindas, tiek silicio karbido sluoksnis pasižymi dideliu šilumos laidumu ir puikiomis šilumos paskirstymo savybėmis.

- Aukšta lydymosi temperatūra, atsparumas oksidacijai aukštoje temperatūroje, atsparumas korozijai.