Barrel Susceptor Silicio karbidu padengtas grafitas

Silicio karbidu padengtas grafitas „Semicorex Barrel Susceptor“ yra specializuotas komponentas, skirtas naudoti epitaksijos procese, ypač nešant plokšteles. Šis „Barrel Susceptor“ silicio karbidu padengtas grafitas yra pagamintas iš grafito medžiagos, kuri yra žinoma dėl puikios šilumos laidumo ir stabilumo aukštoje temperatūroje. Siekiant pagerinti jo veikimą ir ilgaamžiškumą, grafito paviršius padengtas silicio karbido (SiC) sluoksniu.

„Barrel Susceptor“ silicio karbidu padengto grafito silicio karbido danga šiame kontekste atlieka keletą esminių tikslų. Pirma, jis suteikia papildomą grafito pagrindo apsaugos sluoksnį, apsaugodamas jį nuo cheminių reakcijų ir susidėvėjimo, kurie gali atsirasti epitaksijos proceso metu. Antra, SiC danga pagerina „Barrel Susceptor“ silicio karbidu padengto grafito šilumines savybes ir leidžia efektyviai ir vienodai šildyti plokšteles. Šis vienodas šildymas yra būtinas norint pasiekti nuoseklius ir aukštos kokybės epitaksinius sluoksnius ant puslaidininkinių plokštelių.

„Barrel Susceptor“ silicio karbidu padengto grafito dizainas yra optimizuotas taip, kad per visą epitaksijos procesą būtų galima saugiai laikyti ir transportuoti kelias plokšteles. Jo statinę primenanti konstrukcija leidžia lengvai įkelti ir iškrauti plokšteles, tuo pačiu užtikrinant tinkamą šilumos paskirstymą ir šiluminį stabilumą veikimo metu.

Apskritai, „Barrel Susceptor“ silicio karbidu padengtas grafitas yra esminis epitaksijos įrangos komponentas, užtikrinantis patikimumą, ilgaamžiškumą ir tikslią šiluminę kontrolę, būtiną pažangių puslaidininkinių prietaisų gamybai.