Aliuminio nitrido šildytuvai

„Semicorex“ aliuminio nitridų šildytuvai yra moderniausi keraminiai šildymo elementai, skirti pritaikytiems pritaikymams, reikalaujantiems didelio šilumos laidumo, elektros izoliacijos ir išskirtinio ilgaamžiškumo. Šie šildytuvai, sukurti iš aliuminio nitrido keramikos, suteikia greitą ir vienodą šildymą, todėl jie idealiai tinka aukšto tikslumo aplinkai, tokioms kaip puslaidininkių apdorojimas, medicininė diagnostika ir pažangios analizės prietaisai.

Aliuminio nitrido šildytuvai yra pagrindiniai puslaidininkių plonos plėvelės nusodinimo įrangos komponentai. Jie tiesiogiai taikomi proceso kamerai ir tiesiogiai kontaktuojant su vafliu. Jie ne tik nešioja vaflį, bet ir užtikrina, kad vaflis gautų a 

stabili ir vienoda proceso temperatūra. Ši savybė yra būtina didelio tikslumo reakcijoms ant vaflių paviršiaus ir vienodų plonų plėvelių generavimo.

Paprastai aliuminio nitridų šildytuvus sudaro keraminis substratas su vaflinio apkrovos paviršiumi ir cilindro atraminė korpusas, palaikantis jį ant nugaros. Be varžos šildymo grandinės, skirtos šildymui, RF elektrodas ir elektrostatinis chucko elektrodas bei kiti laidininkai taip pat yra keraminio substrato viduje arba jo paviršiuje.

Plonos plėvelės nusodinimo įranga paprastai naudoja keramines medžiagasaliuminio nitridas (ALN)Nes tai apima aukštos temperatūros aplinką. Priežastis, kodėl aliuminio nitridų šildytuvai yra palankūs puslaidininkių gamybai, daugiausia dėl jų unikalių fizikinių ir cheminių savybių. Aliuminio nitridas ne tik turi aukštą šilumos laidumą ir per trumpą laiką gali pasiekti greitą šildymą ir aušinimą, bet ir turi gerą elektrinę izoliaciją bei mechaninį stiprumą, užtikrinantį šildytuvo stabilumą ir patikimumą. Be to, aliuminio nitrido šiluminio išsiplėtimo koeficientas yra panašus į silicio, kuris padeda sumažinti šiluminio streso poveikį vafliui ir pagerinti proceso derlių.

Paprastai kalbantKeraminiai šildytuvaidaugiausia naudojami plonos plėvelės nusodinimo įrangoje. Kadangi tai apima aukštos temperatūros procesus, naudojama keraminė medžiaga daugiausia yra aliuminio nitridas; Elektrostatiniai griebtuvai daugiausia naudojami ėsdinimo įrangoje, o naudojama keraminė medžiaga daugiausia yra aliuminio oksidas. Kuriant puslaidininkių technologiją, keraminių šildytuvų ir elektrostatinių griovių sutapimas yra sutapimas. Pvz., Keraminiai šildytuvai, naudojami plonos plėvelės nusodinimo įrangoje, yra aprūpinti elektrostatiniais grietinėlėmis, kuriose yra dvigubos šildymo aukšto temperatūros ir elektrostatinės adsorbcijos funkcijos. Elektrostatiniai ėsdinimo įrangoje naudojami elektrostatiniai griebtuvai taip pat pradeda apimti aukštos temperatūros procesus, o keraminė medžiaga turi būti keičiama iš aliuminio oksido į aliuminio nitridą.