Elektrostatinis griebtuvas ESC

Semicorex Electrostatic Chuck ESC veikia pagal elektrostatinio sukibimo principą, naudojant aukštos įtampos nuolatinę srovę (DC), tiekiamą ant jo dielektrinio keraminio sluoksnio. Ši technologija leidžia saugiai pritvirtinti plokšteles ar kitas medžiagas apdorojimo metu, užtikrinant stabilumą ir tikslumą įvairiuose gamybos etapuose.

Kai ant griebtuvo įjungiama aukšta nuolatinė įtampa, keraminio dielektriko sluoksnyje esantys įkrauti jonai migruoja ir kaupiasi ant jo paviršiaus. Tai sukuria stiprų elektrostatinį lauką tarp griebtuvo ir apdorojamo gaminio. Sukurta elektrostatinė trauka yra pakankamai tvirta, kad laikytų plokštelę vietoje, užtikrinant, kad ji nejudėtų net atliekant sudėtingas ir didelio tikslumo operacijas. Šis saugus laikymas yra labai svarbus, nes padeda sumažinti mikrojudesius ir vibracijas, kurios gali pakenkti apdorotų plokštelių kokybei ir vientisumui. Gebėjimas pritvirtinti plokšteles su minimaliu mechaniniu kontaktu taip pat apsaugo nuo fizinių pažeidimų, o tai yra aiškus pranašumas, palyginti su tradiciniais suspaudimo būdais.

J-R tipo elektrostatinis griebtuvas ESC turi įmontuotus elektrodus, kurie yra būtini šiam elektrostatiniam sukibimui sukurti. Šie elektrodai yra patalpinti griebtuvo viduje, kad elektrostatinė jėga būtų tolygiai paskirstyta plokštelės ar kitų apdorojamų medžiagų paviršiuje. Toks tolygus pasiskirstymas užtikrina pastovų slėgį, kuris būtinas norint išlaikyti vienodumą sudėtingų procesų, tokių kaip ėsdinimas, jonų implantavimas ir nusodinimas, metu. Dėl preciziško sukibimo, kurį siūlo Elektrostatinis Chuck ESC, jis gali atitikti sudėtingas šiuolaikinės puslaidininkių gamybos specifikacijas.

Be pagrindinės sukibimo funkcijos, elektrostatinis griebtuvas ESC turi sudėtingą temperatūros valdymo sistemą. Griebtuvas turi integruotus kaitinimo elementus, kurie yra skirti reguliuoti apdorojamo produkto temperatūrą. Temperatūros kontrolė yra labai svarbus puslaidininkių gamybos veiksnys, nes net nedideli temperatūros svyravimai gali turėti įtakos proceso rezultatams. „Electrostatic Chuck ESC“ siūlo kelių zonų temperatūros valdymą, leidžiantį atskirai šildyti arba vėsinti skirtingas plokštelės dalis. Tai užtikrina nuoseklų temperatūros palaikymą visame plokštelės paviršiuje, todėl apdorojimo rezultatai vienodi ir sumažinama šiluminės žalos ar deformacijos rizika.

Dar vienas svarbus bruožas yra didelio grynumo medžiagų naudojimas statant elektrostatinį griebtuvą ESC. Medžiagos, parinktos šiam griebtuvui, yra sukurtos taip, kad sumažintų užterštumą kietosiomis dalelėmis, o tai yra labai svarbus dalykas gaminant puslaidininkius. Net mažos dalelės gali sukelti gaminamų mikrostruktūrų defektus, dėl kurių sumažėja derlius ir gali sugesti. Naudodamas labai grynas medžiagas, elektrostatinis griebtuvas ESC sumažina teršalų patekimo į apdorojimo aplinką riziką ir taip palaiko aukštos kokybės gamybą.

Elektrostatinis griebtuvas ESC yra atsparumas plazmos erozijai. Daugelyje puslaidininkių procesų, ypač ėsdinant ir nusodinant, griebtuvas yra veikiamas reaktyviosios plazmos aplinkos. Laikui bėgant, šis poveikis gali pabloginti griebtuve naudojamas medžiagas ir turėti įtakos jo veikimui ir eksploatavimo trukmei. Elektrostatinis griebtuvas ESC yra specialiai sukurtas taip, kad būtų atsparus plazmos erozijai, todėl jis gali išlaikyti struktūrinį vientisumą ir našumą net ir atšiaurioje apdorojimo aplinkoje. Toks patvarumas reiškia ilgesnį tarnavimo laiką, sumažinant dažnų keitimų poreikį ir sumažinant gamybos linijos prastovos laiką.

Elektrostatinio griebtuvo ESC mechaninės savybės taip pat labai svarbios. Griebtuvas gaminamas laikantis itin griežtų leistinų nuokrypių, todėl užtikrinama, kad jis išlaikytų tikslią formą ir matmenis, reikalingus konkrečiam pritaikymui. Norint pasiekti reikiamą paviršiaus lygumą ir glotnumą, naudojami didelio tikslumo apdirbimo būdai, kurie yra būtini norint užtikrinti tolygų elektrostatinį sukibimą ir sumažinti jautrių plokštelių pažeidimo riziką. Griebtuvo mechaninis stiprumas yra toks pat įspūdingas, todėl jis gali atlaikyti fizinį krūvį, atsirandantį vykstant aukštai temperatūrai ir aukštam slėgiui, nedeformuojant ir neprarandant galimybės saugiai laikyti plokštelę.