Aliuminio nitrido keramikinis griebtuvas

Aliuminio nitrido keramikinis griebtuvas yra pažangiausias puslaidininkinių plokštelių apdorojimo sprendimas, specialiai sukurtas saugiai laikyti plokšteles įvairiuose gamybos etapuose. Šis naujoviškas įrenginys, veikiantis kaip elektrostatinis griebtuvas (ESC), išnaudoja išskirtines aliuminio nitrido keramikos savybes, kad užtikrintų tikslų ir patikimą plokštelių laikymą.

Semicorex aliuminio nitrido keramikinis griebtuvas naudoja elektrostatinę jėgą, kad tvirtai sugriebtų plokštelę ant paviršiaus. Tai pasiekiama naudojant kruopščiai sukonstruotą plokštelę su integruotais elektrodais, kurie yra strategiškai pakreipti aukšta įtampa. Dėl to tarp plokštelės ir plokštelės susidaro elektrostatinė laikymo jėga, veiksmingai imobilizuojanti plokštelę vietoje per visą apdorojimo etapą.

Viena iš išskirtinių aliuminio nitrido keraminio griebtuvo savybių yra puikus aukšto šilumos laidumo ir izoliacinių savybių derinys. Dėl šio unikalaus charakteristikų derinio jis yra idealus ESC medžiagų pasirinkimas. Didelis šilumos laidumas užtikrina efektyvų šilumos išsklaidymą, o tai labai svarbu norint išlaikyti vienodą temperatūros pasiskirstymą plokštelėje apdorojimo metu. Tuo pačiu metu išskirtinės izoliacinės savybės užtikrina elektrinę izoliaciją tarp griebtuvo ir plokštelės, sumažindamos elektros trukdžių ar jautrių puslaidininkinių komponentų pažeidimo riziką.

Aliuminio nitrido keramikinis griebtuvas turi keletą pranašumų, palyginti su tradicinėmis griebtuvų medžiagomis. Jo tvirta konstrukcija užtikrina ilgalaikį patvarumą ir gali atlaikyti griežtus puslaidininkių gamybos aplinkos reikalavimus. Be to, dėl suderinamumo su aukštos temperatūros procesais ir atsparumo šiluminiam plėtimuisi jis yra nepakeičiamas įrankis siekiant nuoseklių ir kokybiškų plokštelių apdorojimo rezultatų.