Aliuminio nitrido elektrostatiniai griebtuvai

Aliuminio nitrido elektrostatiniai griebtuvai naudoja elektrostatines jėgas, kad saugiai laikytų plokšteles įvairių puslaidininkių gamybos procesų metu. Šis metodas pašalina mechaninių spaustuvų ar vakuuminių sistemų poreikį, todėl sumažėja kietųjų dalelių susidarymo ir mechaninio įtempimo ant subtilių plokštelių rizika. Vienas iš pagrindinių aliuminio nitrido elektrostatinių griebtuvų privalumų yra jų gebėjimas sukurti labai vienodą ir stabilią elektrostatinę jėgą visame plokštelės paviršiuje. Tai užtikrina pastovų kontaktą ir apsaugo nuo plokštelių slydimo ar deformacijos apdorojimo metu, todėl pagerėja nusodintų plėvelių vienodumas, išgraviruotos savybės ir kiti svarbūs parametrai. Ši vienoda suspaudimo jėga taip pat sumažina plokštelės iškraipymą, todėl pagerėja įrenginio veikimas ir našumas.

Kalbant apie šilumines savybes, aliuminio nitrido elektrostatinių griebtuvų aukštas šilumos laidumas leidžia efektyviai išsklaidyti šilumą vykstant aukštos temperatūros procesams, užkertant kelią šiluminei įtampai ir užtikrinant vienodą temperatūros pasiskirstymą plokštelėje. Tai labai svarbu tokiose srityse kaip greitas terminis apdorojimas ir plazminis ėsdinimas, kai vietinis šildymas gali neigiamai paveikti įrenginio veikimą. Be to, puslaidininkių gamybos procesas dažnai apima greitus temperatūros pokyčius. Didelis aliuminio nitrido elektrostatinių griebtuvų atsparumas šiluminiam smūgiui leidžia atlaikyti šiuos staigius temperatūros pokyčius be degradacijos ar įtrūkimų, užtikrinant griebtuvo ilgaamžiškumą ir patikimą veikimą ilgą laiką naudojant. Be to, AlN turi šiluminio plėtimosi koeficientą (CTE), kuris labai panašus į silicio plokštelių koeficientą. Šis suderinamumas sumažina stresą, sukeliamą plokštelės ir griebtuvo sąsajoje terminio ciklo metu, užkertant kelią plokštelės lankui, iškraipymui ir galimiems defektams, kurie gali turėti įtakos įrenginio našumui ir veikimui.

AlN yra mechaniškai tvirta medžiaga, pasižyminti dideliu atsparumu lenkimui ir atsparumu lūžiams. Dėl šio būdingo stiprumo aliuminio nitrido elektrostatiniai griebtuvai gali atlaikyti mechaninius įtempius, patiriamus gaminant didelės apimties, todėl užtikrinamas pastovus veikimas ir ilgesnis eksploatavimo laikas. Kita vertus, AlN demonstruoja puikų atsparumą daugeliui cheminių medžiagų ir plazmų, dažniausiai naudojamų puslaidininkių apdirbime. Jis taip pat pasižymi puikiu atsparumu oksidacijai net esant aukštesnei temperatūrai, todėl aliuminio nitrido elektrostatinių griebtuvų paviršius išliks nesugadintas ir neužterštas visą eksploatavimo laiką.

„Semicorex“ aliuminio nitrido elektrostatiniai griebtuvai yra įvairių dydžių ir storių, kad atitiktų skirtingus plokštelių skersmenis ir proceso reikalavimus. Dėl šio pritaikomumo jie tinka įvairioms puslaidininkių gamybos programoms, nuo tyrimų ir plėtros iki didelės apimties gamybos.