Elektrostatinis griebtuvas E-Chuck

„Semicorex“ elektrostatinis griebtuvas „E-Chuck“ veikia pagal elektrostatinės traukos principus, užtikrindamas patikimą ir tikslų plokštelių sulaikymą, nereikalaujant mechaninių spaustuvų ar vakuuminio siurbimo, ypač naudojamas ėsdinant, jonų įvedimui.

puslaidininkių apdorojimas, PVD, CVD ir kt. Dėl pritaikomų matmenų jį galima pritaikyti įvairioms reikmėms, todėl tai yra idealus pasirinkimas įmonėms, siekiančioms lankstumo ir efektyvumo puslaidininkių gamybos procesuose.

Pagrindinė J-R tipo elektrostatinio griebtuvo E-chuck technologija yra jo gebėjimas sukurti elektrostatinę jėgą tarp plokštelės ir griebtuvo paviršiaus. Ši jėga sukuriama naudojant aukštą įtampą ant griebtuvo įtaisytų elektrodų, o tai sukelia ir plokštelės, ir griebtuvo krūvius, taip sukuriant stiprų elektrostatinį ryšį. Šis mechanizmas ne tik saugiai laiko plokštelę, bet ir sumažina fizinį kontaktą tarp plokštelės ir griebtuvo, sumažindamas galimą užteršimą ar mechaninį įtempį, galintį pažeisti jautrias puslaidininkines medžiagas.

Semicorex gali pagaminti individualius gaminius, nuo 200 mm iki 300 mm ar net didesnius, priklausomai nuo klientų reikalavimų. Siūlydamas šias pritaikomas parinktis, J-R tipo ESC suteikia maksimalų lankstumą įvairiems puslaidininkių procesams, įskaitant plazminį ėsdinimą, cheminį nusodinimą garais (CVD), fizinį nusodinimą iš garų (PVD) ir jonų implantavimą.

Kalbant apie medžiagas, elektrostatinis griebtuvas E-Chuck yra pagamintas iš aukštos kokybės keraminių medžiagų, tokių kaip aliuminio oksidas (Al2O3) arba aliuminio nitridas (AlN), kurios yra žinomos dėl puikių dielektrinių savybių, mechaninio stiprumo ir terminio stabilumo. Ši keramika suteikia griebtuvui reikalingą patvarumą, kad jis atlaikytų atšiaurias puslaidininkių gamybos sąlygas, pvz., aukštą temperatūrą, korozinę aplinką ir plazmos poveikį. Be to, keraminis paviršius yra poliruotas iki didelio lygumo, kad būtų užtikrintas tolygus kontaktas su plokštele, sustiprinta elektrostatinė jėga ir pagerintas bendras proceso efektyvumas.

Elektrostatinis griebtuvas E-Chuck taip pat sukurtas taip, kad galėtų susidoroti su šiluminiais iššūkiais, su kuriais dažniausiai susiduriama puslaidininkių gamyboje. Temperatūros valdymas yra labai svarbus atliekant tokius procesus kaip ėsdinimas ar nusodinimas, kai plokštelės temperatūra gali greitai svyruoti. Griebtuve naudojamos keraminės medžiagos užtikrina puikų šilumos laidumą, padeda efektyviai išsklaidyti šilumą ir palaiko stabilią plokštelių temperatūrą.

Elektrostatinis griebtuvas E-Chuck sukurtas siekiant kuo labiau sumažinti dalelių užterštumą, o tai labai svarbu puslaidininkių gamyboje, kur net mikroskopinės dalelės gali sukelti galutinio produkto defektus. Lygus keraminis griebtuvo paviršius sumažina dalelių sukibimo tikimybę, o sumažėjęs fizinis kontaktas tarp plokštelės ir griebtuvo dėl elektrostatinio laikymo mechanizmo dar labiau sumažina užteršimo riziką. Kai kuriuose J-R tipo ESC modeliuose taip pat yra pažangių paviršiaus dangų arba apdorojimo priemonių, kurios atstumia daleles ir atsparios korozijai, padidindamos griebtuvo ilgaamžiškumą ir patikimumą švarioje patalpoje.

Apibendrinant galima pasakyti, kad J-R tipo elektrostatinis griebtuvas E-Chuck yra universalus ir patikimas plokštelių laikymo sprendimas, pasižymintis išskirtiniu našumu įvairiuose puslaidininkių gamybos procesuose. Pritaikomas dizainas, pažangi elektrostatinio laikymo technologija ir tvirtos medžiagos savybės daro jį idealiu pasirinkimu įmonėms, siekiančioms optimizuoti plokštelių tvarkymą išlaikant aukščiausius švaros ir tikslumo standartus. Nesvarbu, ar naudojamas ėsdinant plazmoje, nusodinant ar implantuojant jonus, J-R tipo ESC užtikrina lankstumą, ilgaamžiškumą ir efektyvumą, reikalingą siekiant patenkinti sudėtingus šiandienos puslaidininkių pramonės poreikius. J-R tipo ESC, galintis veikti tiek Coulomb, tiek Johnsen-Rahbek režimais, atlaikyti aukštą temperatūrą ir atsparus užteršimui dalelėmis, yra labai svarbus komponentas siekiant didesnio derlingumo ir geresnių proceso rezultatų.