AlN šildytuvas

Universalumas darbo aplinkoje

Vienas iš svarbiausių AlN šildytuvo savybių yra jo gebėjimas efektyviai veikti įvairiose darbo aplinkose, įskaitant atmosferos ir vakuumo sąlygas. Įspūdingas iki 1000 °C (1832 °F) temperatūros diapazonas užtikrina greitą ir tolygų šildymą visoje plokštėje. Dėl šio universalumo jis tinkamas įvairioms reikmėms, pradedant puslaidininkių gamybos įtaisais ir baigiant vakuuminio garinimo sistemomis, purškimo mašinomis ir cheminio garų nusodinimo (CVD) įrenginiais.

Tikslioji inžinerija su sukepinimo procesu

AlN šildytuvo gamybos procesas apima vakuuminį karštąjį presavimą, kuris yra daug sudėtingesnis procesas nei įprastas beslėgis sukepinimas. Ši sudėtinga technika užtikrina, kad šildytuvo aliuminio nitrido grynumas pasiekia išskirtinį 99,5%. Taikydama tokius griežtus gamybos standartus, Semicorex garantuoja, kad kiekvienas AlN šildytuvas pasižymi išskirtinėmis mechaninėmis ir šiluminėmis savybėmis, užtikrinant patikimą veikimą net ir pačiomis sudėtingiausiomis sąlygomis.

Išskirtinis šilumos laidumas

Išskirtinis AlN šildytuvo bruožas yra didelis šilumos laidumas, kuris viršija 180 W/m*K. Šis didelis šilumos laidumas padeda pasiekti puikų šiluminį vienodumą plačiame temperatūrų diapazone, o tai yra svarbus veiksnys daugeliui didelio tikslumo programų. Šildytuvas gali būti sukonstruotas su daugiasluoksne konstrukcija, galinčia tiekti iki 2000 W/in² (310 W/cm²), užtikrinant efektyvų ir tolygų šilumos paskirstymą. Ši galimybė yra ypač vertinga puslaidininkių apdirbimui, kur svarbiausia yra tiksli temperatūros kontrolė.

Aukščiausias atsparumas korozijai

Be šiluminių savybių, AlN Heater pasižymi puikiu atsparumu korozijai. Jis yra labai atsparus halogeninėms dujoms ir oksiduojančiai aplinkai, taip pat pasižymi tvirtu atsparumu daugumai rūgščių ir šarminių tirpalų. Šis atsparumas užtikrina ilgalaikį patvarumą ir veikimo stabilumą net ir tokiose aplinkose, kuriose nuolatinis susirūpinimą kelia korozinių medžiagų poveikis. Toks ilgaamžiškumas sumažina poreikį dažnai keisti, taip sumažinant priežiūros išlaidas ir padidinant bendrą sistemos patikimumą.

Taikymas visose aukštųjų technologijų pramonės šakose

„Semicorex“ AlN šildytuvas yra nepakeičiamas įvairiose aukštųjų technologijų pramonės šakose dėl savo pažangių savybių:

Puslaidininkių gamyba: vienodas šildytuvo šildymas ir tikslus valdymas leidžia jį idealiai naudoti puslaidininkių apdorojimo įrangoje, užtikrinančią aukštos kokybės plokštelių gamybą.

Vakuuminės garinimo sistemos: Dėl savo gebėjimo veikti vakuuminėje aplinkoje esant aukštai temperatūrai jis yra puikus pasirinkimas vakuuminio garinimo sistemoms, kur kontroliuojamas šildymas yra labai svarbus.

Purškimo mašinos: AlN Heater šilumos laidumas ir atsparumas korozijai padidina purškimo mašinų, naudojamų pagrindams padengti, efektyvumą ir tarnavimo laiką.

Cheminio nusodinimo garais (CVD) įrenginiai: CVD procesuose, kai medžiagos nusodinamos ant pagrindo vykstant cheminėms reakcijoms, vienodas šildytuvo temperatūros pasiskirstymas užtikrina nuoseklias ir aukštos kokybės plonas plėveles.

Patobulintas našumas ir patikimumas

AlN Heater dizainas ir medžiagų sudėtis prisideda prie geresnio jo veikimo ir patikimumo. Dėl aliuminio nitrido grynumo ir griežto sukepinimo proceso gaunamas šildytuvas, kuris ne tik puikiai veikia, bet ir ilgą laiką išlaiko vientisumą. Šis patikimumas yra labai svarbus didelės rizikos aplinkoje, kur įrangos gedimas gali sukelti didelių prastovų ir finansinių nuostolių.

Pritaikomas dizainas

Suprasdama, kad skirtingoms programoms keliami unikalūs reikalavimai, „Semicorex“ siūlo pritaikomas „AlN Heater“ dizaino parinktis. Nesvarbu, ar reikia reguliuoti šildytuvo dydį, formą ar galią, mūsų ekspertų komanda glaudžiai bendradarbiauja su klientais, kad sukurtų konkrečius poreikius atitinkančius sprendimus. Šis pritaikymo lygis užtikrina, kad AlN šildytuvas sklandžiai integruotųsi į esamas sistemas, padidindamas bendrą efektyvumą ir našumą.