Susceptoriai MOCVD reaktoriams

„Semicorex“ susceptoriai MOCVD reaktoriams yra aukštos kokybės produktai, naudojami puslaidininkių pramonėje įvairioms reikmėms, pavyzdžiui, silicio karbido sluoksniams ir epitaksiniams puslaidininkiams. Mūsų gaminys yra krumpliaračio arba žiedo formos ir yra sukurtas taip, kad būtų atsparus oksidacijai aukštoje temperatūroje, todėl yra stabilus iki 1600°C temperatūroje.

Siųsti užklausą

Prekės aprašymas

Mūsų susceptoriai MOCVD reaktoriams yra pagaminti CVD cheminiu garų nusodinimu aukštos temperatūros chloravimo sąlygomis, užtikrinant aukštą grynumą. Produkto paviršius yra tankus, su smulkiomis dalelėmis ir dideliu kietumu, todėl jis yra atsparus korozijai rūgštims, šarmams, druskoms ir organiniams reagentams.
Mūsų susceptoriai, skirti MOCVD reaktoriams, yra sukurti taip, kad būtų padengti visi paviršiai, išvengta nulupimo ir būtų pasiektas geriausias laminarinio dujų srauto modelis. Produktas garantuoja šiluminio profilio tolygumą ir apsaugo nuo užteršimo ar nešvarumų sklaidos proceso metu, užtikrinant aukštos kokybės rezultatus.
„Semicorex“ teikia pirmenybę klientų pasitenkinimui ir siūlome ekonomiškus sprendimus. Tikimės tapti Jūsų ilgalaikiu partneriu, tiekiančiu aukštos kokybės produktus ir išskirtinį klientų aptarnavimą.

MOCVD reaktorių susceptorių parametrai

Pagrindinės CVD-SIC dangos specifikacijos
SiC-CVD savybės
Kristalinė struktūra	FCC β fazė
Tankis	g/cm³	3.21
Kietumas	Vickerso kietumas	2500
Grūdų dydis	μm	2~10
Cheminis grynumas	%	99.99995
Šilumos talpa	J kg-1 K-1	640
Sublimacijos temperatūra	℃	2700
Feleksualinė jėga	MPa (RT 4 taškai)	415
Youngo modulis	Gpa (4 pt lenkimas, 1300 ℃)	430
Šiluminis plėtimasis (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Šilumos laidumas	(W/mK)	300

SiC padengto grafito susceptoriaus, skirto MOCVD, ypatybės

- Venkite nulupti ir pasirūpinkite, kad visas paviršius būtų padengtas
Atsparumas oksidacijai aukštoje temperatūroje: stabilus aukštoje temperatūroje iki 1600°C
Didelis grynumas: pagamintas CVD cheminiu garų nusodinimu aukštos temperatūros chloravimo sąlygomis.
Atsparumas korozijai: didelis kietumas, tankus paviršius ir smulkios dalelės.
Atsparumas korozijai: rūgštis, šarmai, druska ir organiniai reagentai.
- Pasiekite geriausią laminarinio dujų srauto modelį
- Šilumos profilio tolygumo garantija
- Užkirsti kelią bet kokiam užteršimui ar priemaišų sklaidai