SiC padengti grafito MOCVD susceptoriai

SiC dengti grafito MOCVD susceptoriaiyra pagrindiniai komponentai, naudojami metalo ir organinio cheminio garų nusodinimo (MOCVD) įrangoje, kuri yra atsakinga už plokštelių substratų laikymą ir šildymą. Dėl aukščiausios kokybės šiluminio valdymo, cheminio atsparumo ir matmenų stabilumo SiC dengti grafito MOCVD susceptoriai yra laikomi optimaliu aukštos kokybės plokštelių substrato epitaksijos pasirinkimu.

Vaflių gamyboje,MOCVDtechnologija naudojama konstruojant epitaksinius sluoksnius ant plokštelių substratų paviršiaus, ruošiant pažangių puslaidininkinių įtaisų gamybai. Kadangi epitaksinių sluoksnių augimą veikia keli veiksniai, plokštelių substratai negali būti tiesiogiai dedami į MOCVD įrangą nusodinimui. SiC dengti grafito MOCVD susceptoriai reikalingi plokštelių substratams laikyti ir šildyti, sukuriant stabilias šilumines sąlygas epitaksiniams sluoksniams augti. Todėl SiC dengtų grafito MOCVD susceptorių veikimas tiesiogiai lemia plonos plėvelės medžiagų vienodumą ir grynumą, o tai savo ruožtu turi įtakos pažangių puslaidininkinių įtaisų gamybai.

Semicorex pasirenkadidelio grynumo grafitaskaip SiC dengtų grafito MOCVD susceptorių matricos medžiaga ir tada tolygiai padengia grafito matricąsilicio karbidasdengimas naudojant CVD technologiją. Palyginti su įprastine technologija, CVD technologija žymiai pagerina sukibimo stiprumą tarp silicio karbido dangos ir grafito matricos, todėl gaunama tankesnė danga ir stipresnis sukibimas. Net ir esant sudėtingai aukštos temperatūros korozinei atmosferai, silicio karbido danga ilgą laiką išlaiko savo struktūrinį vientisumą ir cheminį stabilumą, veiksmingai užkertant kelią tiesioginiam korozinių dujų ir grafito matricos kontaktui. Taip efektyviai išvengiama grafito matricos korozijos ir neleidžiama grafito dalelėms atsiskirti ir užteršti plokštelių substratus bei epitaksinius sluoksnius, užtikrinant puslaidininkinių įtaisų gamybos švarą ir našumą.

„Semicorex“ SiC dengtų grafito MOCVD susceptorių pranašumai

1. Puikus atsparumas korozijai

2. Didelis šilumos laidumas

3. Puikus terminis stabilumas

4. Mažas šiluminio plėtimosi koeficientas

5. Išskirtinis atsparumas šiluminiam smūgiui

6. Didelis paviršiaus lygumas

7. Patvarus tarnavimo laikas