SiC padengti grafito pagrindo susceptoriai, skirti MOCVD

„Semicorex SiC“ padengti grafito pagrindo susceptoriai, skirti MOCVD, yra aukščiausios kokybės laikikliai, naudojami puslaidininkių pramonėje. Mūsų gaminys sukurtas iš aukštos kokybės silicio karbido, kuris užtikrina puikų našumą ir ilgalaikį patvarumą. Šis laikiklis idealiai tinka naudoti auginant epitaksinį sluoksnį ant plokštelės lusto.

Siųsti užklausą

Prekės aprašymas

Mūsų SiC dengti grafito pagrindo susceptoriai, skirti MOCVD, pasižymi dideliu atsparumu karščiui ir korozijai, o tai užtikrina puikų stabilumą net ekstremalioje aplinkoje.
Šių SiC dengtų grafito pagrindo susceptorių, skirtų MOCVD, savybės yra išskirtinės. Jis pagamintas su didelio grynumo silicio karbido danga ant grafito, todėl jis yra labai atsparus oksidacijai aukštoje temperatūroje iki 1600 °C. Jo gamyboje naudojamas CVD cheminio nusodinimo garais procesas užtikrina aukštą grynumą ir puikų atsparumą korozijai. Nešiklio paviršius yra tankus, jame yra smulkių dalelių, kurios padidina jo atsparumą korozijai, todėl jis yra atsparus rūgštims, šarmams, druskoms ir organiniams reagentams.
Mūsų SiC dengti grafito pagrindo susceptoriai, skirti MOCVD, užtikrina tolygų šiluminį profilį, garantuojantį geriausią laminarinio dujų srauto modelį. Jis neleidžia bet kokiam užteršimui ar priemaišoms pasklisti į plokštelę, todėl idealiai tinka naudoti švarioje patalpoje. „Semicorex“ yra didelio masto SiC padengto grafito susceptorių gamintojas ir tiekėjas Kinijoje, o mūsų produktai turi gerą kainos pranašumą. Mes tikimės tapti jūsų ilgalaikiu partneriu puslaidininkių pramonėje.

SiC dengtų grafito pagrindo susceptorių parametrai MOCVD

Pagrindinės CVD-SIC dangos specifikacijos
SiC-CVD savybės
Kristalinė struktūra	FCC β fazė
Tankis	g/cm³	3.21
Kietumas	Vickerso kietumas	2500
Grūdų dydis	μm	2~10
Cheminis grynumas	%	99.99995
Šilumos talpa	J kg-1 K-1	640
Sublimacijos temperatūra	℃	2700
Feleksualinė jėga	MPa (RT 4 taškai)	415
Youngo modulis	Gpa (4 pt lenkimas, 1300 ℃)	430
Šiluminis plėtimasis (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Šilumos laidumas	(W/mK)	300

SiC padengto grafito susceptoriaus, skirto MOCVD, savybės

- Venkite nulupti ir pasirūpinkite, kad visas paviršius būtų padengtas
Atsparumas oksidacijai aukštoje temperatūroje: stabilus aukštoje temperatūroje iki 1600°C
Didelis grynumas: pagamintas CVD cheminiu garų nusodinimu aukštos temperatūros chloravimo sąlygomis.
Atsparumas korozijai: didelis kietumas, tankus paviršius ir smulkios dalelės.
Atsparumas korozijai: rūgštis, šarmai, druska ir organiniai reagentai.
- Pasiekite geriausią laminarinio dujų srauto modelį
- Šilumos profilio tolygumo garantija
- Užkirsti kelią bet kokiam užteršimui ar priemaišų sklaidai