Produktai

Semicorex SiC epitaksiniai susceptoriai, pagaminti iš SiC padengto grafito, yra sukurti taip, kad užtikrintų išskirtinį terminį vienodumą ir cheminį stabilumą aukštoje temperatūroje vykstančių epitaksinių augimo procesų metu. Semicorex yra įsipareigojusi tiekti aukščiausios kokybės produktus ir geriausias paslaugas klientams visame pasaulyje. Turėdami didelę techninę patirtį ir patikimas gamybos galimybes, padedame pasauliniams partneriams pasiekti stabilų našumą ir ilgalaikę vertę.*

SiC padengti grafito MOCVD susceptoriai yra pagrindiniai komponentai, naudojami metalo organinio cheminio garų nusodinimo (MOCVD) įrangoje, kuri yra atsakinga už plokštelių substratų laikymą ir šildymą. Dėl aukščiausios kokybės šiluminio valdymo, cheminio atsparumo ir matmenų stabilumo SiC dengti grafito MOCVD susceptoriai yra laikomi optimaliu aukštos kokybės plokštelių substrato epitaksijos pasirinkimu.

„Semicorex CVD TaC Coated Susceptor“ yra aukščiausios kokybės sprendimas, skirtas MOCVD epitaksiniams procesams, užtikrinantis išskirtinį terminį stabilumą, grynumą ir atsparumą korozijai ekstremaliomis proceso sąlygomis. „Semicorex“ daugiausia dėmesio skiria tiksliai suprojektuotai dengimo technologijai, kuri užtikrina pastovią plokštelių kokybę, ilgesnį komponentų tarnavimo laiką ir patikimą veikimą kiekviename gamybos cikle.*

„Semicorex SiC Coating Pancake Susceptor“ yra didelio našumo komponentas, skirtas naudoti MOCVD sistemose, užtikrinantis optimalų šilumos paskirstymą ir padidintą patvarumą augant epitaksiniam sluoksniui. Pasirinkite „Semicorex“ dėl tikslios inžinerijos gaminių, kurie užtikrina aukštą kokybę, patikimumą ir ilgesnį tarnavimo laiką, pritaikytus unikaliems puslaidininkių gamybos reikalavimams.*

Semicorex TaC Coating Wafer Susceptor yra grafito padėklas, padengtas tantalo karbidu, naudojamas silicio karbido epitaksiniam augimui, siekiant pagerinti plokštelių kokybę ir našumą. Pasirinkite Semicorex dėl pažangios dangos technologijos ir patvarių sprendimų, užtikrinančių puikius SiC epitaksijos rezultatus ir pailgintą susceptoriaus tarnavimo laiką.*

„Semicorex ALD Planetary Susceptor“ yra svarbus ALD įrangoje dėl savo gebėjimo atlaikyti atšiaurias apdorojimo sąlygas, todėl užtikrina aukštos kokybės plėvelės nusodinimą įvairioms reikmėms. Kadangi pažangių puslaidininkinių įtaisų su mažesniais matmenimis ir geresniu našumu paklausa ir toliau auga, tikimasi, kad ALD planetinio susceptoriaus naudojimas ALD dar labiau plėsis.**