> Produktai > Keramika > Silicio karbidas (SiC) > Dujų įleidimo žiedas puslaidininkinei įrangai

Produktai

Nauji produktai

Dujų įleidimo žiedas puslaidininkinei įrangai

„Semicorex“ yra didelio masto silicio karbidu padengtų grafito susceptorių gamintojas ir tiekėjas Kinijoje. Mes orientuojamės į puslaidininkių pramonę, pvz., silicio karbido sluoksnius ir epitaksinius puslaidininkius. Mūsų dujų įleidimo žiedas puslaidininkinei įrangai turi gerą kainos pranašumą ir apima daugelį Europos ir Amerikos rinkų. Mes tikimės tapti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje.

Siųsti užklausą

Prekės aprašymas

„Semicorex“ dujų įleidimo žiedas puslaidininkinei įrangai yra padengtas SiC, kuris yra tanki, dilimui atspari silicio karbido (SiC) danga. Jis turi aukštas atsparumo korozijai ir karščiui savybes, taip pat puikų šilumos laidumą. SiC plonais sluoksniais tepame ant grafito, naudodami cheminio nusodinimo garais (CVD) procesą.

Mūsų dujų įleidimo žiedas puslaidininkinei įrangai yra sukurtas taip, kad būtų pasiektas geriausias laminarinio dujų srauto modelis, užtikrinantis šiluminio profilio tolygumą. Tai padeda išvengti bet kokio užteršimo ar priemaišų sklaidos ir užtikrina aukštos kokybės epitaksinį augimą ant plokštelės lusto.

Susisiekite su mumis šiandien ir sužinokite daugiau apie mūsų dujų įleidimo žiedą puslaidininkinei įrangai.

Puslaidininkinės įrangos dujų įleidimo žiedo parametrai

Pagrindinės CVD-SIC dangos specifikacijos
SiC-CVD savybės
Kristalinė struktūra	FCC β fazė
Tankis	g/cm³	3.21
Kietumas	Vickerso kietumas	2500
Grūdų dydis	μm	2~10
Cheminis grynumas	%	99.99995
Šilumos talpa	J kg-1 K-1	640
Sublimacijos temperatūra	℃	2700
Feleksualinė jėga	MPa (RT 4 taškai)	415
Youngo modulis	Gpa (4 pt lenkimas, 1300 ℃)	430
Šiluminis plėtimasis (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Šilumos laidumas	(W/mK)	300