> Produktai > Keramika > Silicio karbidas (SiC) > Plazmos apdorojimo fokusavimo žiedas

Produktai

Nauji produktai

Plazmos apdorojimo fokusavimo žiedas

Semicorex Plazminio apdorojimo fokusavimo žiedas yra specialiai sukurtas taip, kad atitiktų aukštus plazminio ėsdinimo apdorojimo reikalavimus puslaidininkių pramonėje. Mūsų pažangūs, didelio grynumo silicio karbidu dengti komponentai yra sukurti taip, kad atlaikytų ekstremalią aplinką ir yra tinkami naudoti įvairiose srityse, įskaitant silicio karbido sluoksnius ir epitaksinius puslaidininkius.

Siųsti užklausą

Prekės aprašymas

Mūsų plazminio apdorojimo fokusavimo žiedas yra labai stabilus RTA, RTP arba stipriam cheminiam valymui, todėl jie yra idealus pasirinkimas naudoti plazminio ėsdinimo (arba sauso ėsdinimo) kamerose. Sukurti pagerinti ėsdinimo vienodumą aplink plokštelės kraštą arba perimetrą, mūsų fokusavimo žiedai arba krašto žiedai yra sukurti taip, kad sumažintų užteršimą ir neplanuotą priežiūrą.

Mūsų SiC danga yra tanki, dilimui atspari silicio karbido danga, pasižyminti aukštomis atsparumo korozijai ir karščiui savybėmis bei puikiu šilumos laidumu. SiC plonais sluoksniais tepame ant grafito, naudodami cheminio nusodinimo garais (CVD) procesą. Tai užtikrina, kad mūsų SiC fokusavimo žiedai būtų aukščiausios kokybės ir ilgaamžiškumo, todėl jie yra patikimas pasirinkimas jūsų plazminio ėsdinimo apdorojimo poreikiams.

Susisiekite su mumis šiandien ir sužinokite daugiau apie mūsų plazminio apdorojimo fokusavimo žiedą.

Plazminio apdorojimo fokusavimo žiedo parametrai

Pagrindinės CVD-SIC dangos specifikacijos
SiC-CVD savybės
Kristalinė struktūra	FCC β fazė
Tankis	g/cm³	3.21
Kietumas	Vickerso kietumas	2500
Grūdų dydis	μm	2~10
Cheminis grynumas	%	99.99995
Šilumos talpa	J kg-1 K-1	640
Sublimacijos temperatūra	℃	2700
Feleksualinė jėga	MPa (RT 4 taškai)	415
Youngo modulis	Gpa (4 pt lenkimas, 1300 ℃)	430
Šiluminis plėtimasis (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Šilumos laidumas	(W/mK)	300

Plazminio apdorojimo fokusavimo žiedo savybės

- CVD silicio karbido dangos, siekiant pagerinti tarnavimo laiką.

- Šilumos izoliacija pagaminta iš aukštos kokybės išgrynintos standžios anglies.

- Anglies/anglies kompozito šildytuvas ir plokštė. - Tiek grafito pagrindas, tiek silicio karbido sluoksnis pasižymi dideliu šilumos laidumu ir puikiomis šilumos paskirstymo savybėmis.

- Aukšto grynumo grafito ir SiC danga užtikrina atsparumą skylėms ir ilgesnį tarnavimo laiką