1x2 colių grafito plokštelių susceptoriai

Puslaidininkinių plokštelių gamyboje epitaksinis sluoksnis turi būti auginamas ant plokštelės pagrindo, kad vėliau būtų galima gaminti puslaidininkinius įtaisus. Kadangi epitaksinis augimo procesas yra labai jautrus temperatūros svyravimams ir užterštumui, pasirenkami patikimiplokštelių susceptoriaiyra kritiškai svarbūs. Kaip nepakeičiamos atraminės dalys plokštelių epitaksiniame procese, apdirbimo tikslumas, šilumos valdymo galimybė ir atsparumas užteršimui yra esminiai veiksniai siekiant aukštos kokybės plokštelių epitaksinio augimo.

Semicorex 1x2" grafito plokštelių susceptorių funkcijos

Pagaminti iš itin smulkių grūdelių, didelio grynumo grafito kaip matricos su tankia silicio karbido danga, naudojant specialius procesus, Semicorex 1x2 colių grafito plokštelės susceptoriai atlieka šias funkcijas:

1.Saugus ir pasenęs laikymas

Semicorex 1x2"grafitasplokštelių susceptoriai pasižymi tikslumu apdirbimu ir apdorojimu, todėl paviršius yra lygus ir matmenų tikslumas yra išskirtinis. Tai užtikrina, kad jie būtų tvirtai pritvirtinti tinkamoje padėtyje ir yra stabili, plokščia atramos platforma plokštelių epitaksiniam augimui.

2. Tikslus vienodas šilumos paskirstymas

Dėl puikaus grafito ir SiC medžiagų šilumos laidumo Semicorex 1x2" grafito plokštelės susceptoriai užtikrina greitą ir tolygų šilumos paskirstymą puslaidininkinėje medžiagoje. Sumažinus temperatūros gradientus, Semicorex 1x2" grafito plokštelių susceptoriai gali veiksmingai išvengti tokių problemų kaip netolygi epitaksinė kokybė ir įtempių koncentracija.

Semicorex silicio karbido dangos privalumai

1. Puikus atsparumas korozijai

Padengti tankia silicio karbido danga, Semicorex 1x2 colių grafito plokštelių susceptoriai yra efektyviai atsparūs daugumai chemikalų, todėl jie tinkami naudoti labai korozinėmis darbo sąlygomis, kai medžiaga dažnai yra veikiama korozinių dujų ir cheminių garų.

2. Mažas dalelių išsiskyrimas

Semicorexsilicio karbido dangaturi didelį sukibimo stiprumą su grafito matrica, todėl galima žymiai išvengti pagrindo užteršimo rizikos dėl dangos atsiskyrimo dėl korozijos ir dalelių iškritimo, kurį sukelia didelė korozijos aplinka.

3. Patikimas tarnavimo laikas

Nors grafito matricos pasižymi puikiu terminiu stabilumu ir mechaniniu stiprumu, epitaksinio proceso sąlygomis jos yra linkusios į koroziją ir pulverizaciją, todėl labai sutrumpina nepadengtų grafito matricų tarnavimo laiką. Visiškai apvyniojus grafito matricas tankiomis SiC dangomis, mūsų 1 × 2 colių grafito plokštelių susceptoriai užtikrina puikų ir patikimą patvarumą.

Semicorex SiC dangos medžiagos duomenys