„Semicorex“ plokštelių laikiklis, skirtas ICP ėsdinimo procesui, yra puikus pasirinkimas sudėtingiems plokštelių tvarkymo ir plonos plėvelės nusodinimo procesams. Mūsų gaminys pasižymi puikiu atsparumu karščiui ir korozijai, tolygiu terminiu vienodumu ir optimaliais laminarinio dujų srauto modeliais, kad rezultatai būtų nuoseklūs ir patikimi.
Pasirinkite „Semicorex“ plokštelių laikiklį, skirtą ICP ėsdinimo procesui, kad užtikrintumėte patikimą ir nuoseklų plokštelių tvarkymo ir plonos plėvelės nusodinimo procesą. Mūsų gaminys yra atsparus oksidacijai aukštoje temperatūroje, yra labai grynas ir atsparus korozijai rūgštims, šarmams, druskoms ir organiniams reagentams.
Mūsų plokštelių laikiklis, skirtas ICP ėsdinimo procesui, sukurtas taip, kad būtų pasiektas geriausias laminarinio dujų srauto modelis, užtikrinantis šiluminio profilio tolygumą. Tai padeda išvengti bet kokio užteršimo ar priemaišų sklaidos ir užtikrina aukštos kokybės epitaksinį augimą ant plokštelės lusto.
Susisiekite su mumis šiandien ir sužinokite daugiau apie mūsų plokštelių laikiklį, skirtą ICP ėsdinimo procesui.
Plokščių laikiklio parametrai ICP ėsdinimo procesui
Pagrindinės CVD-SIC dangos specifikacijos |
||
SiC-CVD savybės |
||
Kristalinė struktūra |
FCC β fazė |
|
Tankis |
g/cm³ |
3.21 |
Kietumas |
Vickerso kietumas |
2500 |
Grūdų dydis |
μm |
2~10 |
Cheminis grynumas |
% |
99.99995 |
Šilumos talpa |
J kg-1 K-1 |
640 |
Sublimacijos temperatūra |
℃ |
2700 |
Feleksualinė jėga |
MPa (RT 4 taškai) |
415 |
Youngo modulis |
Gpa (4 pt lenkimas, 1300 ℃) |
430 |
Šiluminis plėtimasis (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Šilumos laidumas |
(W/mK) |
300 |
Plokščių laikiklio ypatybės, skirtos ICP ėsdinimo procesui
- Venkite nulupti ir pasirūpinkite, kad visas paviršius būtų padengtas
Atsparumas oksidacijai aukštoje temperatūroje: stabilus aukštoje temperatūroje iki 1600°C
Didelis grynumas: pagamintas CVD cheminiu garų nusodinimu aukštos temperatūros chloravimo sąlygomis.
Atsparumas korozijai: didelis kietumas, tankus paviršius ir smulkios dalelės.
Atsparumas korozijai: rūgštis, šarmai, druska ir organiniai reagentai.
- Pasiekite geriausią laminarinio dujų srauto modelį
- Šilumos profilio tolygumo garantija
- Užkirsti kelią bet kokiam užteršimui ar priemaišų sklaidai