„Semicorex“ silicio ėsdinimo plokštė, skirta PSS ėsdinimo programoms, yra aukštos kokybės, ypač gryno grafito laikiklis, specialiai sukurtas epitaksiniam augimui ir plokštelių apdorojimo procesams. Mūsų laikiklis gali atlaikyti atšiaurią aplinką, aukštą temperatūrą ir atšiaurų cheminį valymą. Silicio ėsdinimo plokštė, skirta PSS ėsdinimo programoms, pasižymi puikiomis šilumos paskirstymo savybėmis, dideliu šilumos laidumu ir yra ekonomiška. Mūsų produktai yra plačiai naudojami daugelyje Europos ir Amerikos rinkų, todėl tikimės tapti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje.
„Semicorex“ silicio ėsdinimo plokštė, skirta PSS ėsdinimo programoms, sukurta reikliausioms epitaksinės įrangos programoms. Mūsų itin grynas grafito laikiklis gali atlaikyti atšiaurią aplinką, aukštą temperatūrą ir atšiaurų cheminį valymą. SiC padengtas nešiklis pasižymi puikiomis šilumos paskirstymo savybėmis, dideliu šilumos laidumu ir yra ekonomiškas.
Silicio ėsdinimo plokštės parametrai PSS ėsdinimo programoms
Pagrindinės CVD-SIC dangos specifikacijos |
||
SiC-CVD savybės |
||
Kristalinė struktūra |
FCC β fazė |
|
Tankis |
g/cm³ |
3.21 |
Kietumas |
Vickerso kietumas |
2500 |
Grūdų dydis |
μm |
2~10 |
Cheminis grynumas |
% |
99.99995 |
Šilumos talpa |
J kg-1 K-1 |
640 |
Sublimacijos temperatūra |
℃ |
2700 |
Feleksualinė jėga |
MPa (RT 4 taškų) |
415 |
Youngo modulis |
Gpa (4 pt lenkimas, 1300 ℃) |
430 |
Šiluminis plėtimasis (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Šilumos laidumas |
(W/mK) |
300 |
Silicio ėsdinimo plokštės, skirtos PSS ėsdinimo programoms, savybės
- Venkite nulupti ir pasirūpinkite, kad visas paviršius būtų padengtas
Atsparumas oksidacijai aukštoje temperatūroje: stabilus aukštoje temperatūroje iki 1600°C
Didelis grynumas: pagamintas CVD cheminiu garų nusodinimu aukštos temperatūros chloravimo sąlygomis.
Atsparumas korozijai: didelis kietumas, tankus paviršius ir smulkios dalelės.
Atsparumas korozijai: rūgštis, šarmai, druska ir organiniai reagentai.
- Pasiekite geriausią laminarinio dujų srauto modelį
- Šilumos profilio tolygumo garantija
- Užkirsti kelią bet kokiam užteršimui ar priemaišų sklaidai