Semicorex PSS ėsdinimo laikiklio padėklas, skirtas plokštelių apdorojimui, yra specialiai sukurtas reiklioms epitaksinės įrangos programoms. Mūsų itin gryno grafito laikiklis idealiai tinka plonos plėvelės nusodinimo fazėms, tokioms kaip MOCVD, epitaksiniai susceptoriai, blynų ar palydovinės platformos, ir plokštelių apdorojimui, pvz., ėsdinimui. PSS ėsdinimo laikiklio padėklas, skirtas plokštelių apdorojimui, pasižymi dideliu atsparumu karščiui ir korozijai, puikiomis šilumos paskirstymo savybėmis ir aukštu šilumos laidumu. Mūsų produktai yra ekonomiški ir turi gerą kainos pranašumą. Mes aptarnaujame daugelį Europos ir Amerikos rinkų ir tikimės tapti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje.
Semicorex PSS ėsdinimo laikiklio padėklas, skirtas plokštelių apdorojimui, yra sukurtas atšiaurioms aplinkoms, reikalingoms epitaksiniam augimui ir plokštelių apdorojimo procesams. Mūsų itin gryno grafito laikiklis yra skirtas palaikyti plokšteles plonos plėvelės nusodinimo fazėse, pvz., MOCVD ir epitaksinius susceptorius, blynus ar palydovines platformas. SiC padengtas nešiklis pasižymi dideliu atsparumu karščiui ir korozijai, puikiomis šilumos paskirstymo savybėmis ir dideliu šilumos laidumu. Mūsų gaminiai yra ekonomiški ir siūlo gerą kainos pranašumą.
PSS ėsdinimo laikiklio dėklo, skirto plokštelių apdorojimui, parametrai
Pagrindinės CVD-SIC dangos specifikacijos |
||
SiC-CVD savybės |
||
Kristalinė struktūra |
FCC β fazė |
|
Tankis |
g/cm³ |
3.21 |
Kietumas |
Vickerso kietumas |
2500 |
Grūdų dydis |
μm |
2~10 |
Cheminis grynumas |
% |
99.99995 |
Šilumos talpa |
J kg-1 K-1 |
640 |
Sublimacijos temperatūra |
℃ |
2700 |
Feleksualinė jėga |
MPa (RT 4 taškai) |
415 |
Youngo modulis |
Gpa (4 pt lenkimas, 1300 ℃) |
430 |
Šiluminis plėtimasis (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Šilumos laidumas |
(W/mK) |
300 |
PSS ėsdinimo laikiklio dėklo, skirto plokštelėms apdoroti, savybės
- Venkite nulupti ir pasirūpinkite, kad visas paviršius būtų padengtas
Atsparumas oksidacijai aukštoje temperatūroje: stabilus aukštoje temperatūroje iki 1600°C
Didelis grynumas: pagamintas CVD cheminiu garų nusodinimu aukštos temperatūros chloravimo sąlygomis.
Atsparumas korozijai: didelis kietumas, tankus paviršius ir smulkios dalelės.
Atsparumas korozijai: rūgštis, šarmai, druska ir organiniai reagentai.
- Pasiekite geriausią laminarinio dujų srauto modelį
- Šilumos profilio tolygumo garantija
- Užkirsti kelią bet kokiam užteršimui ar priemaišų sklaidai