PSS laikiklis, skirtas plokštelių perkėlimui

„Semicorex“ PSS apdorojimo laikiklis, skirtas plokštelių perdavimui, yra sukurtas reikliausioms epitaksinės įrangos programoms. Mūsų itin grynas grafito laikiklis gali atlaikyti atšiaurią aplinką, aukštą temperatūrą ir atšiaurų cheminį valymą. SiC padengtas nešiklis pasižymi puikiomis šilumos paskirstymo savybėmis, dideliu šilumos laidumu ir yra ekonomiškas. Mūsų produktai yra plačiai naudojami daugelyje Europos ir Amerikos rinkų, todėl tikimės tapti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje.

Siųsti užklausą

Prekės aprašymas

„Semicorex“ plokštelių perkėlimo PSS laikiklis sukurtas taip, kad atitiktų aukštos temperatūros ir griežto cheminio valymo reikalavimus epitaksinio augimo ir plokštelių tvarkymo procesams. Mūsų itin gryno grafito laikiklis idealiai tinka plonos plėvelės nusodinimo fazėms, tokioms kaip MOCVD, epitaksiniai susceptoriai, blynų ar palydovinės platformos, ir plokštelių apdorojimui, pvz., ėsdinimui. SiC padengtas nešiklis pasižymi puikiomis šilumos paskirstymo savybėmis, dideliu šilumos laidumu ir yra ekonomiškas.

Susisiekite su mumis šiandien ir sužinokite daugiau apie mūsų PSS apdorojimo laikiklį, skirtą plokštelių perkėlimui.

PSS tvarkymo nešiklio, skirto plokštelių perdavimui, parametrai

Pagrindinės CVD-SIC dangos specifikacijos
SiC-CVD savybės
Kristalinė struktūra	FCC β fazė
Tankis	g/cm³	3.21
Kietumas	Vickerso kietumas	2500
Grūdų dydis	μm	2~10
Cheminis grynumas	%	99.99995
Šilumos talpa	J kg-1 K-1	640
Sublimacijos temperatūra	℃	2700
Feleksualinė jėga	MPa (RT 4 taškai)	415
Youngo modulis	Gpa (4 pt lenkimas, 1300 ℃)	430
Šiluminis plėtimasis (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Šilumos laidumas	(W/mK)	300