SiC padengti planetiniai susceptoriai

Semicorex SiC padengti planetiniai susceptoriai yra nepakeičiamas atraminis komponentas, skirtas puslaidininkių epitaksiniam augimui Aixtron G2 įrangoje, kuriame jie gali saugiai palaikyti plokšteles ir suktis planetų judėjimo būdu. Tokiu būdu galima sėkmingai pasiekti tikslų terminį vienodumą ir vienodą dujų pasiskirstymą plokštelės paviršiuje, o tai lemia aukščiausios kokybės epitaksinio sluoksnio nusodinimą ant plokštelių.

Semicorex SiC dengtų planetinių susceptorių privalumai

1. Daugiasluoksnės kišenės dizainas

Dengtas Semicorex SiCplanetiniai susceptoriaituri vienodą kelių plokštelių kišenių paskirstymą su tiksliai kontroliuojamais matmenimis. Šios plokštelių kišenės gali tvirtai laikyti plokštelių substratus epitaksinio augimo proceso metu, o tai gali veiksmingai sumažinti epitaksinio proceso pokyčius, kuriuos sukelia nepageidaujamas plokštelių substratų judėjimas. Be to, ši kelių plokštelių kišenės konstrukcija leidžia vienu metu epitaksiškai nusodinti kelis plokštelių pagrindus, o tai labai pagerina bendrą epitaksinio augimo proceso efektyvumą.

2. Optimizuotas dujų srauto angos išdėstymas

„Semicorex“ turi kruopščiai suprojektuotą dujų srauto kanalų rinkinįPadengtas SiCplanetiniai susceptoriai, kurie patobulina dujų srauto dinamikos ir šiluminio tolygumo per plokštelės paviršių optimizavimą viso epitaksinio proceso metu. Ši apgalvota konstrukcija leidžia tiksliai valdyti dujų srautą ir pasiskirstymą reakcijos kameroje, o tai būtina norint pasiekti aukštos kokybės plonas plėveles, vienodą sluoksnio storį ir patikimą bendrą įrenginio veikimą.

3. Itin aukšta švara

Semicorex SiC padengti planetiniai susceptoriai gaminami naudojant itin aukšto grynumo medžiagas ir itin mažą priemaišų kiekį, visiškai atitinkančius griežtus puslaidininkių gamybos švaros reikalavimus. Jie efektyviai sumažina plokštelių užteršimą, kurį sukelia metalo išmetimas, net esant aukštai temperatūrai ir korozinėms sąlygoms, būdingoms epitaksiniams procesams.

4. Ilgaamžis tarnavimo laikas

Semicorex kokybės kontrolė prasideda nuo mūsų kruopštaus žaliavų pasirinkimo. SiC padengti planetiniai susceptoriai yra tiksliai pagaminti iš puslaidininkinio grafito ir silicio karbido, pasižymintys puikiu atsparumu aukštai temperatūrai ir atsparumu korozijai, todėl jie puikiai atlaiko sudėtingas aukštos temperatūros, labai ėsdinančias epitaksines veikimo sąlygas. Dėl šių puikių medžiagų savybių Semicorex SiC padengti planetiniai susceptoriai gali išlaikyti pastovų veikimą ir struktūrinį vientisumą bei išvengti jų paviršiaus pažeidimų ir efektyvumo sumažėjimo aukštos temperatūros ir didelės korozijos reakcijos kamerose, o tai labai pailgina SiC padengtų planetinių susceptorių tarnavimo laiką.