„Semicorex“ SiC padengtas ICP komponentas yra specialiai sukurtas aukštos temperatūros plokštelių apdorojimo procesams, tokiems kaip epitaksija ir MOCVD. Su puikia SiC kristalų danga, mūsų laikikliai užtikrina puikų atsparumą karščiui, tolygų šiluminį vienodumą ir patvarų cheminį atsparumą.
„Semicorex“ SiC padengtas ICP komponentas yra geriausias pasirinkimas plokštelių tvarkymo procesams, kuriems reikalingas aukšta temperatūra ir atsparumas cheminėms medžiagoms. Mūsų laikikliai užtikrina tolygius šiluminius profilius, laminarinius dujų srauto modelius ir apsaugo nuo užteršimo ar priemaišų difuzijos dėl mūsų puikaus SiC kristalo. Su puikia SiC kristalų danga, mūsų laikikliai užtikrina puikų atsparumą karščiui, tolygų šiluminį vienodumą ir patvarų cheminį atsparumą.
„Semicorex“ daugiausia dėmesio skiria aukštos kokybės, ekonomiškai efektyvių produktų tiekimui savo klientams. Mūsų SiC padengtas ICP komponentas turi kainos pranašumą ir yra eksportuojamas į daugelį Europos ir Amerikos rinkų. Siekiame būti Jūsų ilgalaikiu partneriu, tiekiančiu pastovios kokybės produktus ir išskirtinį klientų aptarnavimą.
Susisiekite su mumis šiandien ir sužinokite daugiau apie mūsų SiC dengtą ICP komponentą.
SiC padengto ICP komponento parametrai
Pagrindinės CVD-SIC dangos specifikacijos |
||
SiC-CVD savybės |
||
Kristalinė struktūra |
FCC β fazė |
|
Tankis |
g/cm³ |
3.21 |
Kietumas |
Vickerso kietumas |
2500 |
Grūdų dydis |
μm |
2~10 |
Cheminis grynumas |
% |
99.99995 |
Šilumos talpa |
J kg-1 K-1 |
640 |
Sublimacijos temperatūra |
℃ |
2700 |
Feleksualinė jėga |
MPa (RT 4 taškai) |
415 |
Youngo modulis |
Gpa (4 pt lenkimas, 1300 ℃) |
430 |
Šiluminis plėtimasis (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Šilumos laidumas |
(W/mK) |
300 |
SiC padengto ICP komponento savybės
- Venkite nulupti ir pasirūpinkite, kad visas paviršius būtų padengtas
Atsparumas oksidacijai aukštoje temperatūroje: stabilus aukštoje temperatūroje iki 1600°C
Didelis grynumas: pagamintas CVD cheminiu garų nusodinimu aukštos temperatūros chloravimo sąlygomis.
Atsparumas korozijai: didelis kietumas, tankus paviršius ir smulkios dalelės.
Atsparumas korozijai: rūgštis, šarmai, druska ir organiniai reagentai.
- Pasiekite geriausią laminarinio dujų srauto modelį
- Šilumos profilio tolygumo garantija
- Užkirsti kelią bet kokiam užteršimui ar priemaišų sklaidai