Produktai

„Semicorex RTP SiC“ dangos plokštės yra aukštos kokybės vaflių nešikliai, skirti naudoti reikalaujant greito šiluminio perdirbimo aplinkoje. Patikimi pirmaujantys puslaidininkių gamintojai, „Semicorex“ suteikia puikų šiluminio stabilumo, ilgaamžiškumo ir užteršimo kontrolę, pagrįstą griežtais kokybės standartais ir tikslumo gamyba.*

„Semicorex RTP Ring“ yra SiC padengtas grafito žiedas, skirtas didelio našumo taikymui greitojo terminio apdorojimo (RTP) sistemose. Pasirinkite Semicorex mūsų pažangioms medžiagų technologijoms, užtikrinančioms puikų patvarumą, tikslumą ir patikimumą puslaidininkių gamyboje.*

Semicorex RTP grafito nešiklio plokštė yra puikus sprendimas puslaidininkių plokštelių apdorojimui, įskaitant epitaksinį augimą ir plokštelių apdorojimą. Mūsų gaminys sukurtas taip, kad būtų atsparus karščiui ir šiluminis vienodumas, užtikrinant, kad epitaksiniai susceptoriai būtų veikiami nusodinimo aplinkos, pasižymintys dideliu atsparumu karščiui ir korozijai.

„Semicorex RTP SiC Coating Carrier“ užtikrina puikų atsparumą karščiui ir šiluminį vienodumą, todėl tai yra puikus sprendimas puslaidininkinių plokštelių apdorojimui. Dėl aukštos kokybės SiC padengto grafito šis gaminys yra sukurtas taip, kad atlaikytų atšiauriausią epitaksinio augimo aplinką. Didelis šilumos laidumas ir puikios šilumos paskirstymo savybės užtikrina patikimą RTA, RTP arba stiprių cheminių valymo priemonių veikimą.

Semicorex RTP/RTA SiC Coating Carrier yra sukurtas taip, kad atlaikytų sunkiausias nusodinimo aplinkos sąlygas. Dėl didelio atsparumo karščiui ir korozijai šis gaminys sukurtas taip, kad užtikrintų optimalų epitaksinio augimo veikimą. SiC padengtas nešiklis pasižymi dideliu šilumos laidumu ir puikiomis šilumos paskirstymo savybėmis, todėl užtikrina patikimą RTA, RTP arba stiprių cheminių valymo priemonių veikimą.

„Semicorex SiC Graphite RTP Carrier Plate“, skirta MOCVD, užtikrina puikų atsparumą karščiui ir šiluminį vienodumą, todėl tai yra puikus sprendimas puslaidininkių plokštelių apdorojimui. Su aukštos kokybės SiC padengtu grafitu, šis gaminys yra sukurtas taip, kad atlaikytų atšiauriausias epitaksinio augimo sąlygas. Didelis šilumos laidumas ir puikios šilumos paskirstymo savybės užtikrina patikimą RTA, RTP arba stiprių cheminių valymo priemonių veikimą.