Produktai

Semicorex SiC padengti grafito plokštelių susceptoriai yra nepakeičiami grafito plokštelių laikikliai, padengti tankia ir vienoda CVD SiC danga, kurie yra sukurti specialiai aukščiausios klasės puslaidininkių MOCVD epitaksinio augimo sistemoms. Pasirinkę Semicorex, galite gauti ekonomiškai efektyvias kainas, geresnę produktų kokybę ir patikimą aptarnavimo patirtį.

Semicorex SiC padengti planetiniai susceptoriai yra didelio tikslumo grafito laikantys komponentai, padengti tankia silicio karbido danga, specialiai suprojektuoti pažangiai MOCVD įrangai. Jie gali užtikrinti vienodą dujų srautą ir šilumos paskirstymą, taip prisidedant prie optimalios epitaksinės aplinkos kūrimo.

Semicorex Quartz Susceptor Support sukurtas specialiai puslaidininkinėms epitaksinėms krosnims. Itin grynos medžiagos ir tiksli struktūra leidžia tiksliai pakelti ir nustatyti padėklus ar mėginių laikiklius reakcijos kameroje. „Semicorex“ gali teikti pritaikytus didelio grynumo kvarcinius sprendimus, užtikrinančius ilgalaikį kiekvieno pagalbinio komponento veikimo stabilumą aukšto vakuumo, aukštos temperatūros ir labai korozinėse puslaidininkių procesų aplinkose, naudojant pažangias apdorojimo technologijas ir griežtą kokybės kontrolę.*

Semicorex 1x2" grafito plokštelių susceptoriai yra didelio našumo nešiojamieji komponentai, specialiai sukurti 2 colių plokštelėms, kurie puikiai tinka puslaidininkinių plokštelių epitaksiniam procesui. Pasirinkite Semicorex, jei norite pramonėje pirmaujančių medžiagų grynumo, tikslios inžinerijos ir neprilygstamo patikimumo reikalaujančiose epitaksinėse aplinkose.

Semicorex TaC padengti grafito plokštelių susceptoriai yra pažangiausi komponentai, paprastai naudojami stabiliai palaikyti ir padėti puslaidininkių plokštelėms pažangių puslaidininkių epitaksinių procesų metu. Pasitelkdama pažangiausias gamybos technologijas ir brandžią gamybos patirtį, „Semicorex“ yra įsipareigojusi mūsų vertinamiems klientams tiekti pagal užsakymą pagamintus TaC dengtus grafitinių plokštelių susceptorius, pasižyminčius rinkoje pirmaujančia kokybe.

Semicorex CVD TaC padengti susceptoriai yra didelio našumo grafito susceptoriai su tankia TaC danga, suprojektuoti taip, kad užtikrintų puikų terminį vienodumą ir atsparumą korozijai sudėtingiems SiC epitaksinio augimo procesams. „Semicorex“ sujungia pažangią CVD dengimo technologiją su griežta kokybės kontrole, kad būtų užtikrintas ilgalaikis, mažai užterštas susceptorius, kuriais pasitiki pasauliniai SiC epi gamintojai.*