Produktai

Kalbant apie plokštelių apdorojimo procesus, tokius kaip epitaksija ir MOCVD, Semicorex aukštos temperatūros SiC danga plazminėms ėsdinimo kameroms yra geriausias pasirinkimas. Dėl puikios SiC kristalinės dangos mūsų laikikliai užtikrina puikų atsparumą karščiui, tolygų šiluminį vienodumą ir patvarų cheminį atsparumą.

Semicorex ICP plazminis ėsdinimo padėklas yra sukurtas specialiai aukštos temperatūros plokštelių apdorojimo procesams, tokiems kaip epitaksija ir MOCVD. Su stabiliu atsparumu oksidacijai aukštoje temperatūroje iki 1600°C, mūsų nešikliai užtikrina tolygius šiluminius profilius, laminarinius dujų srauto modelius ir apsaugo nuo užteršimo ar priemaišų difuzijos.

„Semicorex“ SiC padengtas laikiklis, skirtas ICP plazminio ėsdinimo sistemai, yra patikimas ir ekonomiškas sprendimas, skirtas aukštos temperatūros plokštelių tvarkymo procesams, tokiems kaip epitaksija ir MOCVD. Mūsų laikikliai turi puikią SiC kristalų dangą, kuri užtikrina puikų atsparumą karščiui, tolygų šiluminį vienodumą ir patvarų cheminį atsparumą.

„Semicorex“ silicio karbidu padengtas susceptorius, skirtas induktyviai susietai plazmai (ICP), sukurtas specialiai aukštos temperatūros plokštelių apdorojimo procesams, tokiems kaip epitaksija ir MOCVD. Su stabiliu atsparumu oksidacijai aukštoje temperatūroje iki 1600°C, mūsų laikikliai užtikrina tolygius šiluminius profilius, laminarinius dujų srauto modelius ir apsaugo nuo užteršimo ar priemaišų difuzijos.

Semicorex ICP ėsdinimo plokštelių laikiklis yra puikus sprendimas aukštos temperatūros plokštelių apdorojimo procesams, tokiems kaip epitaksija ir MOCVD. Su stabiliu atsparumu aukštai temperatūrai iki 1600°C, mūsų laikikliai užtikrina tolygius šiluminius profilius, laminarinius dujų srauto modelius ir apsaugo nuo užteršimo ar priemaišų difuzijos.

Semicorex ICP ėsdinimo nešiklio plokštė yra puikus sprendimas sudėtingiems plokštelių tvarkymo ir plonos plėvelės nusodinimo procesams. Mūsų gaminys užtikrina puikų atsparumą karščiui ir korozijai, tolygų šiluminį vienodumą ir laminarinius dujų srauto modelius. Švarus ir lygus paviršius mūsų laikiklis puikiai tinka tvarkyti nesugadintus vaflius.