Semicorex ICP plazminis ėsdinimo padėklas yra sukurtas specialiai aukštos temperatūros plokštelių apdorojimo procesams, tokiems kaip epitaksija ir MOCVD. Su stabiliu atsparumu oksidacijai aukštoje temperatūroje iki 1600°C, mūsų nešikliai užtikrina tolygius šiluminius profilius, laminarinius dujų srauto modelius ir apsaugo nuo užteršimo ar priemaišų difuzijos.
Mūsų ICP plazminio ėsdinimo padėklas yra padengtas silicio karbidu, naudojant CVD metodą, o tai yra idealus sprendimas plokštelių tvarkymo procesams, kuriems reikalingas aukštos temperatūros ir atšiaurus cheminis valymas. „Semicorex“ laikikliai turi puikią SiC kristalų dangą, kuri užtikrina tolygius šiluminius profilius, laminarinius dujų srauto modelius ir apsaugo nuo užteršimo ar priemaišų difuzijos.
„Semicorex“ daugiausia dėmesio skiria aukštos kokybės, ekonomiškai efektyvių produktų tiekimui savo klientams. Mūsų ICP plazminio ėsdinimo padėklas turi kainos pranašumą ir yra eksportuojamas į daugelį Europos ir Amerikos rinkų. Siekiame būti Jūsų ilgalaikiu partneriu, tiekiančiu pastovios kokybės produktus ir išskirtinį klientų aptarnavimą.
Susisiekite su mumis šiandien ir sužinokite daugiau apie mūsų ICP plazminio ėsdinimo padėklą.
ICP plazminio ėsdinimo dėklo parametrai
Pagrindinės CVD-SIC dangos specifikacijos |
||
SiC-CVD savybės |
||
Kristalinė struktūra |
FCC β fazė |
|
Tankis |
g/cm³ |
3.21 |
Kietumas |
Vickerso kietumas |
2500 |
Grūdų dydis |
μm |
2~10 |
Cheminis grynumas |
% |
99.99995 |
Šilumos talpa |
J kg-1 K-1 |
640 |
Sublimacijos temperatūra |
℃ |
2700 |
Feleksualinė jėga |
MPa (RT 4 taškai) |
415 |
Youngo modulis |
Gpa (4 pt lenkimas, 1300 ℃) |
430 |
Šiluminis plėtimasis (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Šilumos laidumas |
(W/mK) |
300 |
ICP plazminio ėsdinimo dėklo savybės
- Venkite nulupti ir pasirūpinkite, kad visas paviršius būtų padengtas
Atsparumas oksidacijai aukštoje temperatūroje: stabilus aukštoje temperatūroje iki 1600°C
Didelis grynumas: pagamintas CVD cheminiu garų nusodinimu aukštos temperatūros chloravimo sąlygomis.
Atsparumas korozijai: didelis kietumas, tankus paviršius ir smulkios dalelės.
Atsparumas korozijai: rūgštis, šarmai, druska ir organiniai reagentai.
- Pasiekite geriausią laminarinio dujų srauto modelį
- Šilumos profilio tolygumo garantija
- Užkirsti kelią bet kokiam užteršimui ar priemaišų sklaidai