Dauguma SiC substrato gamintojų šiais laikais naudoja tiglio konstrukciją, kurioje karštojo lauko procesui naudojamas akytas grafito cilindras. Procesas apima didelio grynumo SiC dalelių patalpinimą tarp grafito tiglio sienelės ir akytojo grafito cilindro, tuo pačiu pagilinant tiglį ir padidinant jo skersmenį. Tai padidina žaliavos garavimo plotą, kartu padidindama įkrovimo tūrį.
Naujasis procesas išsprendžia kristalų defektų, atsirandančių dėl žaliavos viršutinės dalies rekristalizavimosi, augant žaliavos paviršiui, problemą, kuri turi įtakos sublimuojamos medžiagos srautui. Be to, naujasis procesas sumažina žaliavos srities temperatūros pasiskirstymo jautrumą kristalų augimui, stabilizuoja masės perdavimo efektyvumą, sumažina anglies inkliuzų įtaką vėlyvoje augimo stadijoje ir dar labiau pagerina SiC kristalų kokybę. Be to, naujajame procese naudojamas besėklių kristalų dėklo fiksavimo metodas, kuris neprilimpa prie sėklų kristalų, taip išlaisvindamas šiluminį plėtimąsi ir palengvindamas streso mažinimą. Šis naujas procesas optimizuoja šiluminį lauką ir labai pagerina plėtimosi efektyvumą.
Svarbu pažymėti, kad šiuo nauju procesu gautų SiC pavienių kristalų kokybė ir išeiga labai priklauso nuo tiglio grafito ir akytojo grafito fizikinių savybių. Tačiau šiuo metu pasiūla rinkoje yra labai maža, palyginti su augančia paklausa.
Pagrindinės akytojo grafito savybės:
Tinkamas porų dydžio pasiskirstymas;
Pakankamai didelis poringumas;
Mechaninis, kad atitiktų apdorojimo ir naudojimo reikalavimus.
Semicorex siūlo pritaikytus aukštos kokybės akyto grafito gaminius pagal jūsų poreikius.
Semicorex poringa anglis yra pažangi didelio grynumo medžiaga puslaidininkių apdirbimui. Ši svarbi įranga atlieka pagrindinį vaidmenį monokristalinio SiC augimo procese. Semicorex yra įsipareigojusi teikti kokybiškus produktus konkurencingomis kainomis, tikimės tapti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje.
Skaityti daugiauSiųsti užklausą„Semicorex“ porėtos grafito medžiagos, skirtos vieno kristalo SiC augimui, yra specializuota medžiaga, naudojama puslaidininkių apdirbimui. Ši itin svarbi įranga vaidina pagrindinį vaidmenį monokristalinio SiC kokybei. Semicorex yra įsipareigojusi teikti kokybiškus produktus konkurencingomis kainomis, tikimės tapti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje.
Skaityti daugiauSiųsti užklausą