Porėtas grafito tiglis

Porėtas grafito tiglis vaidina svarbų vaidmenį silicio karbido (SiC) monokristalų augimo procese, kuris yra esminis puslaidininkių gamybos žingsnis. Šis specializuotas tiglis yra sukurtas taip, kad atlaikytų ekstremalias temperatūras ir atšiaurią cheminę aplinką, todėl jis yra idealus indas aukštos temperatūros reakcijoms, susijusioms su SiC kristalų augimu.

Tiglis paprastai gaminamas iš didelio grynumo grafito medžiagos, žinomos dėl puikios šilumos laidumo, cheminio inertiškumo ir mechaninio stiprumo. Terminas „akytas“ reiškia tyčinį laidžios struktūros sukūrimą grafite, leidžiančią kontroliuoti dujų ir skysčių srautą kristalų augimo proceso metu.

SiC monokristalų augimo procesas apima silicio ir anglies šaltinio medžiagų sublimavimą aukštos temperatūros krosnyje. Porėtas grafito tiglis veikia kaip šių žaliavų talpykla, suteikdama stabilią ir kontroliuojamą aplinką kristalų augimui. Jo porėta struktūra leidžia efektyviai transportuoti pirmtakų dujas ir palengvina šalutinių produktų, susidarančių augimo proceso metu, pašalinimą.

Tiglio gebėjimas išlaikyti stabilumą ir atlaikyti ekstremalias sąlygas yra būtinas norint gauti aukštos kokybės SiC monokristalų, kurie yra neatsiejami nuo puslaidininkinių įtaisų gamybos. Tiglio poringumas padeda optimizuoti dujų srautą ir šilumos paskirstymą, taip prisidedant prie vienodo didelių ir aukštos kokybės SiC kristalų augimo.