Vaflių nešiklio padėklas

„Semicorex“ tiekia puslaidininkinę keramiką jūsų OĮG pusgamybos įrankiams ir plokštelių tvarkymo komponentams, daugiausia dėmesio skiriant silicio karbido sluoksniams puslaidininkių pramonėje. Jau daugelį metų esame vaflių laikiklio dėklo gamintojai ir tiekėjai. Mūsų vaflių dėklas turi gerą kainos pranašumą ir apima daugumą Europos ir Amerikos rinkų. Tikimės tapti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje.

Siųsti užklausą

Prekės aprašymas

„Semicorex“ tiekia itin gryną keraminį laikiklį, naudojamą plokštelėms paremti, ne tik plonos plėvelės nusodinimo fazėms, tokioms kaip epitaksija ar MOCVD, arba plokštelių apdorojimui. Proceso esmė, MOCVD plokštelių laikiklio padėklas pirmiausia yra veikiamas nusodinimo aplinkos, todėl jis turi didelį atsparumą karščiui ir korozijai. SiC padengtas nešiklis taip pat pasižymi dideliu šilumos laidumu ir puikiomis šilumos paskirstymo savybėmis.
Susisiekite su mumis šiandien ir sužinokite daugiau apie mūsų vaflių laikiklio dėklą.

Vaflių laikiklio dėklo parametrai

Techninės savybės
Rodyklė	Vienetas	Vertė
Medžiagos pavadinimas		Reakcinis sukepintas silicio karbidas	Beslėgis sukepintas silicio karbidas	Rekristalizuotas silicio karbidas
Sudėtis		RBSiC	SSiC	R-SiC
Tūrinis tankis	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Lankstumo stiprumas	MPa (kpsi)	338 (49)	380 (55)	80–90 (20 °C) 90–100 (1400 °C)
Suspaudimo stiprumas	MPa (kpsi)	1120 (158)	3970 (560)	> 600
Kietumas	Mygtukas	2700	2800	/
Breaking Tenacity	MPa m1/2	4.5	4	/
Šilumos laidumas	W/m.k	95	120	23
Šiluminio plėtimosi koeficientas	10^-6.1/°C	5	4	4.7
Specifinė šiluma	Džaulis/g 0k	0.8	0.67	/
Maksimali oro temperatūra	℃	1200	1500	1600
Elastinis modulis	Gpa	360	410	240

Skirtumas tarp SSiC ir RBSiC:

1. Sukepinimo procesas skiriasi. RBSiC turi prasiskverbti laisvą Si į silicio karbidą žemoje temperatūroje, SSiC susidaro natūraliai susitraukiant 2100 laipsnių temperatūroje.

2. SSiC turi lygesnį paviršių, didesnį tankį ir didesnį stiprumą, kai kuriems sandarinimams, kuriems taikomi griežtesni paviršiaus reikalavimai, SSiC bus geresnis.

3. Skirtingas naudojimo laikas esant skirtingam PH ir temperatūrai, SSiC yra ilgesnis nei RBSiC

Vaflių laikiklio dėklo savybės

- CVD silicio karbido dangos, siekiant pagerinti tarnavimo laiką.
- Šilumos izoliacija pagaminta iš aukštos kokybės išgrynintos standžios anglies.
- Tiek grafito pagrindas, tiek silicio karbido sluoksnis pasižymi dideliu šilumos laidumu ir puikiomis šilumos paskirstymo savybėmis.
- Aukšto grynumo grafito ir SiC danga užtikrina atsparumą skylėms ir ilgesnį tarnavimo laiką

Galimos silicio karbido keramikos formos:

● Keraminis strypas / keraminis kaištis / keraminis stūmoklis

● Keraminis vamzdis / keraminė įvorė / keraminė mova

● Keraminis žiedas / keraminė poveržlė / keraminė tarpinė

● Keraminis diskas

● Keraminė plokštė / keraminis blokas

● Keraminis rutulys

● Keraminis stūmoklis

● Keraminis antgalis

● Keraminis tiglis

● Kitos pagal užsakymą pagamintos keraminės dalys