Vaflių valtis

„Semicorex Wafer Boat“ sukurta taip, kad atlaikytų atšiaurias difuzijos krosnies sąlygas, tokias kaip aukšta temperatūra, korozinė aplinka ir poreikis tiksliai išdėstyti plokšteles difuzijos proceso metu.

Wafer Boat yra pagamintas iš Silicio karbido keramikos, pasirinktos dėl išskirtinių savybių. Silicio karbidas yra žinomas dėl savo didelio šilumos laidumo, užtikrinančio tolygų temperatūros pasiskirstymą tarp plokštelių difuzijos metu. Šis vienodumas yra labai svarbus siekiant išlaikyti plokštelių vientisumą ir užtikrinti vienodą dopingo lygį, kuris yra būtinas gaminamų puslaidininkinių įtaisų funkcionalumui. Be to, aukšta silicio karbido lydymosi temperatūra ir terminis stabilumas leidžia Wafer Boat veikti aukštesnėje temperatūroje, kuri reikalinga difuzijos procesams, dažnai viršijant 1000°C, be degradacijos ar iškraipymo.

Vienas iš pagrindinių Silicio karbido keramikos privalumų Wafer Boat yra puikus atsparumas cheminėms medžiagoms. Šis atsparumas yra ypač svarbus palaikant puslaidininkinių plokštelių grynumą, nes bet koks užteršimas gali sukelti galutinio produkto defektus ir pakenkti integrinių grandynų veikimui.

„Wafer Boat“ konstrukcinis vientisumas yra dar vienas svarbus jos dizaino veiksnys. Konstrukcija turi užtikrinti, kad plokštelės būtų saugiai laikomos vietoje, tiksliai išdėstytos, kad reaktyviosios dujos būtų tolygiai veikiamos. Šis tikslumas yra gyvybiškai svarbus norint pasiekti vienodą visų plokštelių dopingą, kuris tiesiogiai veikia puslaidininkinių įtaisų elektrines charakteristikas.

Be šiluminių ir cheminių savybių, silicio karbido keramika pasižymi puikiu matmenų stabilumu, itin svarbiu puslaidininkių gamybos tikslumo reikalavimams. Šis stabilumas užtikrina, kad plokštelės išliks nepriekaištingai išlygintos, o tai leidžia tiksliai ir tolygiai paskirstyti priedus per visą kiekvienos plokštelės paviršių, todėl gaminami aukštos kokybės puslaidininkiniai įtaisai.

Semicorex Wafer Boat, pagamintas iš silicio karbido keramikos, yra esminis puslaidininkių difuzijos proceso komponentas. Dėl išskirtinio šilumos laidumo, cheminio atsparumo, mechaninio stiprumo ir matmenų stabilumo jis idealiai tinka sudėtingoms puslaidininkių gamybos sąlygoms. Jo naudojimas ne tik padidina difuzijos proceso efektyvumą ir patikimumą, bet ir prisideda prie bendro puslaidininkių gamybos ekonomiškumo.