> Produktai > Keramika > Silicio karbidas (SiC) > Vaflinė valtis puslaidininkių procesui

Produktai

Nauji produktai

Vaflinė valtis puslaidininkių procesui

„Semicorex“ tiekia plokštelinius laivelius, pjedestalus ir pasirinktinius plokštelių laikiklius tiek vertikaliai / stulpeliui, tiek horizontaliai. Jau daugelį metų esame silicio karbido dengimo plėvelės gamintojai ir tiekėjai. Mūsų puslaidininkių procesų valtis turi gerą kainos pranašumą ir apima daugumą Europos ir Amerikos rinkų. Mes tikimės tapti jūsų ilgalaikiu partneriu Kinijoje.

Siųsti užklausą

Prekės aprašymas

„Semicorex SiC Wafer Boat“, skirta puslaidininkių procesui, yra geriausias sprendimas plokštelių tvarkymui ir apsaugai puslaidininkių gamyboje. Mūsų puslaidininkiniam procesui skirtas valtis yra pagaminta iš aukštos kokybės silicio karbido, kuris turi gerą atsparumą korozijai ir puikų atsparumą aukštai temperatūrai bei šiluminiam smūgiui. Pažangi keramika užtikrina puikią šiluminę varžą ir plazmos ilgaamžiškumą, tuo pačiu sumažindama dalelių ir teršalų kiekį didelės talpos plokštelių laikikliuose.

Puslaidininkinio proceso vaflinės valties parametrai

Techninės savybės
Rodyklė	Vienetas	Vertė
Medžiagos pavadinimas		Reakcinis sukepintas silicio karbidas	Beslėgis sukepintas silicio karbidas	Rekristalizuotas silicio karbidas
Sudėtis		RBSiC	SSiC	R-SiC
Tūrinis tankis	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Lankstumo stiprumas	MPa (kpsi)	338 (49)	380 (55)	80–90 (20 °C) 90–100 (1400 °C)
Suspaudimo stiprumas	MPa (kpsi)	1120 (158)	3970 (560)	> 600
Kietumas	Mygtukas	2700	2800	/
Breaking Tenacity	MPa m1/2	4.5	4	/
Šilumos laidumas	W/m.k	95	120	23
Šiluminio plėtimosi koeficientas	10^-6.1/°C	5	4	4.7
Specifinė šiluma	Džaulis/g 0k	0.8	0.67	/
Maksimali oro temperatūra	℃	1200	1500	1600
Elastinis modulis	Gpa	360	410	240

„Wafer Boat“, skirto puslaidininkiniam procesui, savybės

Aukščiausias atsparumas karščiui ir šiluminis vienodumas
Smulkiu SiC kristalu padengtas lygiam paviršiui
Didelis atsparumas cheminiam valymui
Medžiaga sukurta taip, kad neatsirastų įtrūkimų ir delaminacijos.