Vertikali vaflių valtis

„Semicorex Vertical Wafer Boat“ yra specialiai sukurtas laikiklis kelioms plokštelėms, kuris maksimaliai padidina erdvės efektyvumą apdorojimo kamerose. Šios vertikalios vaflių valtys paprastai yra stačiakampio arba cilindro formos, o kiekvienoje valtyje yra tiksliai apdirbtų plyšių arba kišenių, kurios yra išdėstytos taip, kad būtų galima saugiai laikyti atskiras plokšteles vertikalioje padėtyje. Vertikalios vaflių valtys yra pagamintos iš silicio karbido (SiC), kuris puikiai atsparus aukštai temperatūrai, korozinėms cheminėms medžiagoms ir mechaniniam įtempimui, todėl puikiai tinka apsaugoti plokšteles nuo galimo pažeidimo.

Puslaidininkių gamybos metu plokštelėse vyksta daugybė sudėtingų procesų, įskaitant difuziją, RTP ir šiluminius laukus. Vertikali vaflių valtis atlieka esminį vaidmenį palengvinant šiuos procesus, nes yra plokštelių laikiklis, leidžiantis sklandžiai perkelti į kitą įrangą ir etapus. Jo vertikali orientacija sumažina pėdsaką apdorojimo kamerose, optimizuoja pralaidumą ir leidžia efektyviai tvarkyti dideles plokštelių partijas.

„Semicorex Vertical Wafer Boat“ yra puslaidininkių apdorojimo kertinis akmuo, suteikiantis tvirtą ir patikimą sprendimą saugiam plokštelių tvarkymui ir transportavimui įvairiais gamybos etapais. Jo pažangus dizainas kartu su išskirtinėmis SiC savybėmis pabrėžia jo pagrindinį vaidmenį gaminant pažangiausius puslaidininkinius įtaisus.