Vertikalios kvarcinės valtys

Puslaidininkių gamybos procesuose puslaidininkių komponentai reakcijos kameroje turi atitikti griežtus aukšto švarumo standartus. Priešingu atveju net mikro arba nano masto priemaišos ar teršalai gali negrįžtamai pakenkti puslaidininkinių įtaisų veikimui ir našumui.

Kvarcinės vaflių valtysdažniausiai montuojami vertikaliai aukštos temperatūros reakcijos kamerose, tokiose kaip difuzijos krosnys, oksidacijos krosnys ir atkaitinimo krosnys, kur jos turi tiesiogiai liestis su plokštelėmis. Semicorex vertikalios kvarcinės valtys yra pagamintos iš didelio grynumo kvarcinių medžiagų, kad atitiktų šiuos aukšto švarumo reikalavimus. Šis išmintingas medžiagų pasirinkimas veiksmingai išvengia plokštelių užteršimo, kurį sukelia reagentai, išsiskiriantys iš plokštelių valčių gamybos proceso metu.

Puslaidininkių gamyboje reikalaujama, kad plokšteliniai laiveliai ne tik kartotų šildymo ir aušinimo ciklus, bet ir ilgą laiką atlaikytų proceso dujų koroziją. Semicorex vertikalus kvarcasvaflįDėl joms būdingo terminio stabilumo valtys pasižymi išskirtiniu matmenų stabilumu sudėtingomis nuolatinio terminio ciklo eksploatavimo sąlygomis. Šios puikios šiluminės savybės žymiai apsaugo nuo plokštelių deformacijos ir žalos, kurią sukelia vertikalių kvarcinių plokštelių valčių tikslumo degradacija arba struktūrinė deformacija. Be to, dėl didelio cheminio inertiškumo vertikalios kvarcinės plokštelės gali būti atsparios reakcijai su korozinėmis dujomis, tokiomis kaip deguonis, vandens garai, vandenilio chloridas ir amoniakas. Ši savybė labai sumažina galimybę, kad cheminė korozija pakenks vertikalių kvarcinių plokštelių konstrukciniam vientisumui.

Be aukščiau paminėtų pranašumų, Semicorex vertikalios kvarcinės valtys taip pat demonstruoja puikų konkurencingumą matmenų tikslumu ir konstrukcijos dizainu. Kiekviena jų dalis yra pagaminta tikslaus apdirbimo technika. Šis konkretus matmenų valdymas užtikrina tikslų plokštelės padėties nustatymą, sumažindamas įbrėžimus ir įtrūkimus, atsirandančius dėl poslinkio ar susidūrimų pakraunant, apdorojant ir iškraunant.