Kvarcinis 12 colių valtis

Sukurta tiksliai ir iš labai gryno kvarco, Semicorex Quartz 12" valtis yra optimalus sprendimas subtiliai ir kritinei plokštelių apdorojimo užduočiai.

Puslaidininkių gamybos esmė – naudojamos įrangos kokybė ir patikimumas gali labai paveikti galutinio produkto našumą ir išeigą. 12 colių kvarcinė valtis pasižymi neprilygstamu terminiu stabilumu, cheminiu atsparumu ir mechaniniu stiprumu. Puikios savybės užtikrina, kad plokštelės būtų saugiai laikomos ir apsaugotos įvairiuose apdorojimo etapuose, įskaitant atkaitinimą aukštoje temperatūroje, cheminį nusodinimą iš garų (CVD) ir oksidaciją.

Viena iš išskirtinių 12 colių Quartz valties savybių yra išskirtinis šiluminis stabilumas. Kvarcas yra žinomas dėl savo gebėjimo atlaikyti ekstremalias temperatūras be deformacijos ar degradacijos. Tai ypač svarbu aukštoje temperatūroje vykstančių procesų metu, kai būtina išlaikyti struktūrinį vientisumą, kad būtų išvengta plokštelių užteršimo ar lūžimo. 12 colių kvarco laivo konstrukcija išnaudoja visas kvarco šilumines savybes, užtikrina tolygų šilumos paskirstymą ir sumažina plokštelių šiluminį įtampą. Tai lemia nuoseklesnį procesą ir aukštesnės kokybės rezultatus.

Be šiluminio stabilumo, 12 colių kvarcinė valtis pasižymi puikiu cheminiu atsparumu. Puslaidininkių gamybos metu plokštelės yra veikiamos įvairiomis cheminėmis medžiagomis, įskaitant rūgštis, šarmus ir reaktyviąsias dujas. Didelio grynumo kvarcinė medžiaga iš prigimties yra atspari šioms korozinėms medžiagoms, užkertant kelią bet kokioms neigiamoms reakcijoms, galinčioms pakenkti plokštelėms. Šis cheminis inertiškumas užtikrina, kad į valtį nepatektų jokių priemaišų, taip išlaikomas gaminamų puslaidininkinių įtaisų vientisumas ir grynumas.