Viršutinė pusė mėnulio

„Semicorex“ viršutinė pusė yra pusapvalė vaflių laikiklis, kruopščiai sukurtas epitaksinei perdirbimo įrangai. Ši dalis epitaksinio augimo proceso metu, kaip kritinis jautrumo komponentas, ši dalis yra skirta palaikyti ir stabilizuoti silicio plokšteles aukštos temperatūros cheminio garų nusėdimo metu (CVD). Pagaminta iš aukšto grynumo grafito ir apsaugotas vienoda silicio karbido (SIC) danga, viršutinė pusmėnulio dalis sujungia mechaninį tvirtumą, puikų šilumos laidumą ir išskirtinį atsparumą korozijai, kad būtų patenkinti aukštos tikslumo epitaksijos reikalavimai.

Šis produktas savo pavadinimą kildina iš atskiros pusmėnulio geometrijos, kuri yra sukurta konkrečioms sukimosi platformoms, skirtoms vienos vaflinėms ar daugiafunkciniams epitaksiniams reaktoriams. Unikali forma ne tik palengvina vienodą dujų srautą ir šiluminį pasiskirstymą, bet ir leidžia lengvai integruoti į esamus šildymo ir sukimosi mazgus. Pusiau apskritimo dizainas užtikrina optimalų vaflių padėties nustatymą, sumažina šiluminį įtempį ir vaidina pagrindinį vaidmenį siekiant vienodo epitaksinės plėvelės storio per visą vaflių paviršių.

Viršutiniame „Half Moon“ produkte yra ypač smulkaus grafito substratas dėl stabilios ultragarsinės struktūros, esančios ypač aukštoje temperatūroje, kartu su atsparumu su gedimu per pakartotinius važiavimus. Norėdami išplėsti naudojimą, cheminio garų nusėdimo technologija buvo pritaikyta aukšto grynumo tankios SIC dangos, išskiriant grafito substratą iš HCl, Cl₂, Silane ir kitų korozinių procesų dujų. Nepaisant to, SIC danga skatina patvaresnį ir labiau prailginamą gyvenimą tiek viršutinio pusmėnulio produktui, tiek jo visumai, netgi sumažinant vaflių aplinkos užteršimą, galiausiai naudinga proceso derliui ir plėvelės kokybei.

SiC sluoksnio paviršiaus apdaila buvo nurodyta ir yra plokščia arba lygi, kad būtų skatinamas nuolatinis šilumos perdavimas į substratą ir pastovų plėvelės formavimąsi. Be to, SIC danga pagerina komponentų atsparumą kietųjų dalelių generavimui, o tai yra pagrindinis defektų jautrių puslaidininkių taikymo veiksnys. Našumo parametrai, įskaitant labai žemą išeikvojimą ir labai mažą deformaciją, viršija 1200 ° C, yra veiksmingi komponentai labai ilgiems veikimo ciklams, mažėjančioms sistemos prastovos ir priežiūros išlaidoms.

„Semicorex“ viršutinė pusmėnulio dalis nėra antra, atsižvelgiant į toleranciją, dangos vienodumą ir medžiagų pasirinkimą. Mes palaikome griežtą kokybės kontrolę kiekviename žingsnyje, pradedant grafito apdirbimu, baigiant SIC dangų nusėdimu ir galutiniu patikrinimu, užtikrindami, kad kiekvienas įrenginys atitiktų griežtus standartus, reikalingus iš puslaidininkių kokybės įrangos. Be to, pripažįstama, kad mūsų patirtis pritaikant geometrijas, storią ir paviršiaus apdorojimus, taikoma beveik visoms epitaksinių platformų formoms.

Viršutinė pusė mėnulis yra kritiškai svarbus vaflių stabilumui, šiluminiam vienodumui ir užteršimo kontrolei silicio ar sudėtinės puslaidininkinės epitaksijos. Atitinkamai, „Semicorex“ pasitelkia neprilygstamą kompetenciją, materialines technologijas ir gamybos nuoseklumą, kad pasiektų patikimų, aukštos kokybės receptorių komponentų klientų lūkesčius.