TaC padengtas plokštelinis susceptorius

Semicorex TaC padengtas plokštelinis susceptorius yra labai svarbus komponentas, naudojamas metalo organinio cheminio nusodinimo garais (MOCVD) krosnyse puslaidininkių epitaksiniam (epi) apdorojimui. Šis specializuotas apvalus susceptorius yra pagamintas iš aukštos kokybės grafito medžiagos ir turi unikalią tantalo karbido (TaC) dangą.

Pagrindinis TaC dangos tikslas yra pagerinti TaC padengto plokštelinio susceptoriaus veikimą ir ilgaamžiškumą sudėtingomis puslaidininkių gamybos procesų sąlygomis. Tantalo karbidas yra žinomas dėl savo išskirtinio kietumo, aukštos lydymosi temperatūros ir atsparumo dilimui bei korozijai. Dėl šių savybių „TaC Coated Wafer Susceptor“ yra idealus pasirinkimas norint apsaugoti pagrindinį grafito susceptorių nuo cheminių reakcijų ir fizinių įtempių, atsirandančių MOCVD krosnyje.

TaC padengtas plokštelinis susceptorius vaidina gyvybiškai svarbų vaidmenį puslaidininkinių medžiagų epitaksiniame augime, nes palengvina plonų plėvelių nusodinimą ant plokštelių. Jo gebėjimas atlaikyti aukštą temperatūrą ir atšiaurią cheminę aplinką yra labai svarbus siekiant tikslios ir patikimos puslaidininkinių prietaisų gamybos.

TaC Coated Wafer Susceptor su grafito šerdimi ir tantalo karbido danga užtikrina nuoseklų ir tolygų šilumos paskirstymą, prisidedant prie puslaidininkių sluoksnių, išaugintų MOCVD proceso metu, atkuriamumo ir kokybės. Šis pažangus medžiagų derinys daro jį patikimu ir patvariu puslaidininkių gamybos sprendimu, atitinkančiu griežtus šiuolaikinių elektroninių prietaisų gamybos reikalavimus.