TaC padengtas vamzdis

Semicorex TaC Coated Tube galia slypi sinergiškame pagrindinės medžiagos ir specializuotos dangos derinyje:

Aukšto grynumo izotropinio grafito pagrindas:TaC padengto vamzdžio šerdis yra suformuota iš itin didelio grynumo izotropinio grafito, garsėjančio puikiu šilumos laidumu, mažu šiluminiu plėtimu ir būdingu atsparumu šiluminiam smūgiui. Šis pagrindas yra tvirta ir stabili platforma, galinti atlaikyti greitus temperatūros svyravimus ir dideles šilumines apkrovas, būdingas puslaidininkių apdorojimui.

Tantalo karbidas---Patvarumo ir inertiškumo skydas:CVD padengta TaC danga paverčia grafito pagrindą, suteikdama išskirtinį kietumą, atsparumą dilimui ir cheminį inertiškumą. Šis apsauginis sluoksnis veikia kaip barjeras nuo agresyvių dujų, plazmos ir reaktyviųjų medžiagų, atsirandančių puslaidininkių gamybos metu, užtikrindamas vamzdžio struktūrinį vientisumą ir ilgaamžiškumą.

Šis unikalus medžiagų derinys suteikia daug privalumų, kurie yra labai svarbūs pažangiai puslaidininkių gamybai:

Neprilygstamas atsparumas temperatūrai:TaC pasižymi vienu aukščiausių lydymosi taškų iš visų žinomų medžiagų, pranokstančiu net silicio karbidą (SiC). Šis atsparumas ekstremalioms temperatūroms leidžia TaC padengtam vamzdžiui patikimai veikti procesuose, kuriems reikalinga aukštesnė nei 2500°C temperatūra, todėl galima gaminti naujos kartos puslaidininkinius įtaisus su dideliu šiluminiu biudžetu.

Itin didelio grynumo kritiniams procesams valdyti:Gaminant puslaidininkius itin svarbu išlaikyti nesugadintą proceso aplinką. Didelio grynumo grafito naudojimas ir kruopštus CVD dengimo procesas užtikrina minimalų išmetamųjų dujų arba kietųjų dalelių susidarymą iš TaC padengto vamzdžio, užkertant kelią užteršimui, galinčiam pakenkti jautriems plokštelių paviršiams ir įrenginio veikimui.

Nenutrūkstamas cheminis atsparumas:TaC padengto vamzdžio cheminis inertiškumas užtikrina išskirtinį atsparumą įvairioms korozinėms dujoms, reaktyviosioms jonams ir plazminei aplinkai, paprastai naudojamai puslaidininkių procesuose, tokiuose kaip ėsdinimas, nusodinimas ir atkaitinimas. Dėl šio tvirto cheminio stabilumo pailgėja vamzdžių eksploatavimo trukmė, sumažėja priežiūros poreikis ir mažesnės bendros nuosavybės išlaidos.

Padidintas mechaninis patvarumas, prailgintas tarnavimo laikas:Stipri TaC dangos ir grafito pagrindo sukibimo jėga kartu su būdingu TaC padengto vamzdžio kietumu užtikrina išskirtinį atsparumą dilimui, erozijai ir mechaniniam įtempimui. Dėl šio padidinto patvarumo pailgėja tarnavimo laikas ir sutrumpėja keitimo prastovos laikas, pagerėja proceso efektyvumas ir pralaidumas.